در کارخانه تولید، فرآیند حرارتدادن فوتورزیست نوعی «توقف» نیست؛ بلکه یک نقطه کنترلی است که نمیتوان آن را جعل کرد.
هرگونه تغییر ۱ درجه سانتیگرادی در دمای حرارتدادن، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود و همچنین باعث ناهمواری لبههای خطوط شود. ما لامپ حرارتدادن نوع DUV را به گونهای طراحی کردهایم که دمای مناسب برای فرآیند تولید را حفظ کند؛ نه آن دمایی که لامپ به طور تصادفی به آن میرسد.
آنچه در حین فرآیند تولید اهمیت دارد، تکرارپذیری عملکرد در شرایط بار بالاست. لامپ، دمای سطح ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ این امر منجر به حذف یکنواخت مواد حلشونده و عملکرد یکنواخت لولههای اتصال میشود.
پروفایل خروجی لامپ، برای شیمی فوتورزیست نوع DUV، به گونهای تنظیم شده است؛ همچنین، پاسخ سریع لامپ به تغییرات دما، زمان حرارتدادن را کاهش میدهد، بدون اینکه کنترل پروفایل خروجی مختل شود.
سازگاری با محیطهای پاک، یک ویژگی اضافی نیست؛ بلکه از همان ابتدا در طراحی لامپ لحاظ شده است. در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذرهای از منبع حرارتی تولید نمیشود؛ همچنین، این سیستم میتواند ۲۴ ساعته و بدون هیچ توقف ناخواستهای کار کند.
مزیت این روش این است که دقت دمای حرارتدادن فوتورزیست بالاست؛ این امر منجر به کاهش ناهمواری ابعاد قطعات و همچنین کاهش کارهای تکراری میشود.
مصرف انرژی نیز به دلیل طراحی مناسب، کمتر است؛ همچنین، استفاده از الکترومغناطیسهای با عمر طولانی، باعث کاهش نیاز به قطعات یدکی و کاهش زمان تعمیرات میشود.
این روش، یک جایگزین قابل اعتماد است که با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی سازگار است؛ همان عملکرد حرارتی، بدون اینکه مجبور به استفاده از تجهیزات خاصی شوید.
نکته مهمی که باید در نظر گرفت این است که یکنواختی دما، به شکل محفظه حرارتی و نحوه قرارگیری ویفر در آن بستگی دارد.
بهترین نتایج را خواهید داشت، زمانی که لامپ با ابعاد محفظه حرارتی سازگار باشد و روش حرارتدادن نیز برای پروفایل جدید تنظیم شود.
ما دادههای مربوط به اتصالات و نکات کاربردی را فراهم میکنیم؛ تا تغییرات قابل اندازهگیری باشند، نه تخمینی.