در فرآیند پخت، حتی تغییرات جزئی در دما میتواند بر ابعاد مهم قطعات تأثیر بگذارد و باعث کاهش بازدهی تولید شود. اجاقهای سنتی برای مقابله با این مشکلات استفاده میشوند؛ اما این روشها نیز باعث ایجاد عدم قطعیت میشوند. ما یک دستگاه خشککن مادونقرمز ساختیم تا این نوسانات را از بین ببرد.
گرمایش مادونقرمز: یکنواختی و تکرارپذیری در مقیاس زیر میلیمتری
این دستگاه از پرتوهای مادونقرمز استفاده میکند؛ این پرتوها به گونهای تنظیم شدهاند که انرژی را به سرعت درون قطعات وارد کنند و دمای آنها را تحت کنترل نگه دارند. در نتیجه، یکنواختی دما در سراسر قطعات بسیار خوب است و دما در طول فرآیند پخت در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند.
ما از روش پیرومتری با حلقه بسته در همان سطح قطعات استفاده میکنیم؛ همچنین از یک محفظه بازتابنده برای جلوگیری از انتشار گرمای اضافی استفاده میکنیم. تکرارپذیری این دستگاه در هر بار کار، در محدوده چند ده میلیدرجه است؛ بنابراین پروفایل پخت قطعات به خوبی کنترل میشود.
چرا این روش در مواقع لازم مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، این دستگاه میتواند هم فرآیندهای پخت نرم و هم فرآیندهای پخت سخت را با یک کنترل یکسان انجام دهد؛ همچنین زمان پردازش را کاهش داده و پروفایلهای مربوط به رزیستورها را حفظ میکند. در فرآیندهای تمیزکاری و خشککردن، این دستگاه رطوبت را از روی قطعات برمیدارد، بدون اینکه فیلمهای با ضخامت کم دچار گرمای بیش از حد شوند.
این دستگاه میتواند در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ استفاده شود؛ همچنین هیچ ذرهای تولید نمیکند. مصرف انرژی نیز کم است، زیرا این دستگاه فقط هدف مورد نظر را گرم میکند، نه کل اتاق. این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ عمر پرتوهای تولید شده توسط آن بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است و خروجی آن نیز پایدار است.
نکات عملی برای برنامهریزی:
برای نصب این دستگاه، به یک مدار برقی ۲۴ ولت DC و یک سطح تمیز و بدون لرزش نیاز است تا تراز پرتوها حفظ شود. این دستگاه برای قطعات ۱۵۰ میلیمتری و ۲۰۰ میلیمتری بهینه شده است؛ برای قطعات ۳۰۰ میلیمتری، نیاز به یک چاک مخصوص و روال کالیبراسیون وجود دارد. ابتدا باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پروفایلهای مربوط به فیلمهای مورد استفاده مشخص شود.