در فرآیند خشک کردن ویفرها، اختلالات حرارتی نه تنها بر روند تولید تأثیر منفی میگذارند، بلکه باعث تغییر ابعاد مهم ویفرها و کاهش بازدهی تولید نیز میشوند. در محیطهای با فشار هوای بسیار پایین، استفاده از هیترهای معمولی برای حفظ یکنواختی دما، باعث ایجاد ذرات ناخواسته میشود. ما هیترهای مادون قرمز خود را دقیقاً برای این شرایط طراحی کردهایم.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از انتشارکنندههای مادون قرمز با پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، گرما به سرعت و به صورت هدفمند منتشر میشود و میزان انتشار گرما نیز پایدار باقی میماند. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، سرعت پاسخگویی هیترها به اندازهای است که بتواند با روند تولید پرسرعت همگام شود. خروجی این هیترها قابل تکرار است؛ بنابراین، فرآیندهای خشک کردن ویفرها در هر بار تولید، یکنواخت باقی میماند. این هیترها در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ نصب میشوند؛ در این اتاقها، میزان گازهای آزاد شده بسیار کم است و طراحی این هیترها به گونهای است که در حین کار، ذراتی تولید نشود.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
در فرآیند خشک کردن ویفرها، انرژی مادون قرمز به سرعت و به طور یکنواخت مواد حلکننده را از بین میبرد؛ این امر باعث کاهش نقصهای سطحی ویفرها میشود. در فرآیند لیتوگرافی نیز، یکنواختی دما باعث کنترل بهتر ابعاد ویفرها و کاهش نیاز به تولید مجدد میشود. در فرآیند بستهبندی نیز، چرخههای خشک کردن با الگوهای حرارتی قابل پیشبینی انجام میشوند؛ بنابراین، چسبندگی و قابلیت اطمینان محصولات حفظ میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا هیترها گرما را در زمان لازم ارائه میدهند؛ همچنین، جرم حرارتی کم و اتلاف گرما نیز کم است. قابلیت اطمینان این هیترها در ساعات کار طولانی نمایان میشود؛ ما دستگاههایی داریم که ۲۴/۷ کار میکنند و خروجی آنها پایدار و زمان تعمیرات آنها قابل پیشبینی است.
نکات مهم در نصب:
نصب این هیترها به رابطه بین هیتر و محیط اطراف، چگالی توان و فاصلههای حرارتی بستگی دارد. باید انتشارکنندههای گرما را با شکل منعکسکنندهها هماهنگ کرد؛ در غیر این صورت، نقاط داغی ایجاد میشود. ولتاژ، ابعاد و نوع کانکتورها نیز باید با ویژگیهای تجهیزات شما هماهنگ باشد. اگر هماهنگی و تنظیمات صحیحی انجام شود، سیستم به خوبی کار خواهد کرد؛ در غیر این صورت، یکنواختی حرارتی و قابلیت تکراری سیستم از بین خواهد رفت.