Hãy ngừng lãng phí năng lượng trong buồng chân không của bạn đi! Đây chính là thực tế khi làm việc trong môi trường chân không: hiện tượng đối lưu không còn xảy ra nữa. Chỉ còn lại hiện tượng bức xạ; nếu không cẩn thận, phần lớn năng lượng quý giá sẽ bị mất đi vào các bức tường của buồng chân không. Khi xử lý các tấm wafer, mỗi watt năng lượng bị lãng phí đều là một sai sót trong thiết kế.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng. Nghe có vẻ phức tạp, nhưng thực ra rất đơn giản. Chúng ta muốn năng lượng hồng ngoại chiếu vào tấm wafer, chứ không để nó thấm vào thép.
Tại sao lại chọn vàng? Hầu hết mọi người đều bắt đầu với việc sử dụng aluminum hoặc thép không gỉ đã được mài bóng. Chúng trông rất bóng loáng, nhưng trong phổ hồng ngoại, chúng giống như những miếng bọt biển – chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng.
Chúng tôi thay thế chúng bằng lớp vàng có độ tinh khiết cao. Vàng rất giỏi trong việc phản xạ các sóng hồng ngoại trở lại nơi cần thiết. Điều này giúp giảm thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn, đồng thời giúp kiểm soát nhiệt độ một cách hiệu quả.
Tận dụng từng watt năng lượng Việc duy trì nhiệt độ ổn định trên các tấm wafer có kích thước 300mm là một thách thức lớn. Đó là một công việc đòi hỏi sự cân bằng tuyệt vời.
Bằng cách giảm thiểu sự mất mát năng lượng do bức xạ, bạn có thể giảm công suất của các bóng đèn. Bạn vẫn có được nhiệt độ bề mặt như ban đầu, nhưng với mật độ năng lượng thấp hơn. Các bộ nguồn điện của bạn sẽ cảm ơn bạn vì điều này.
Nhược điểm (vì luôn có nhược điểm) Tuy nhiên, hiệu suất cao này cũng đi kèm với một số hạn chế. Những hệ thống này tập trung nhiệt lượng một cách mạnh mẽ.
Nếu vị trí đặt bóng đèn sai vài milimét, bạn sẽ gặp phải tình trạng chênh lệch nhiệt độ khá lớn. Bạn không thể lơ là việc sử dụng các bộ điều khiển PID hay cảm biến nhiệt – chúng cần phải hoạt động nhanh để theo kịp tình hình. Hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của bạn. Nếu hệ thống này không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt được phản xạ, bạn sẽ làm hỏng các bộ phận liên quan.
Chúng tôi thiết kế những bộ phận này sao cho chúng có thể được lắp đặt dễ dàng vào hệ thống chân không hiện có của bạn. Mục tiêu là đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết: trên bề mặt tấm wafer. Không lãng phí năng lượng, không làm nóng quá mức các bộ phận không cần thiết. Chỉ có nhiệt lượng được sử dụng một cách hiệu quả mà thôi.