Nhiệt độ đồng đều cho wafer kích thước 300mm trong bước sóng hồng ngoại

Trên dây chuyền sản xuất kích thước 300mm, bạn có thể nhận biết được khi quy trình nung bắt đầu mất kiểm soát. Độ rộng của các đường viền trên bề mặt...