300 mm boyutundaki yüzeylerde, fırınlama işlemi sırasında profilin bozulmaya başladığını hissedebilirsiniz. Çizgi kalınlıkları değişir ve geliştirme işleminden sonra yüzeyde kirler oluşur. Sıcak bölge belirlenen değerlerle mücadele ettiğinde, foto direnç malzemesi israf edilir ve üretim verimi düşer. Biz de bu tür sorunların ortaya çıkmasını engellemek için kızılötesi sistemi geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Kısa dalga boylu kızılötesi emisyon cihazları, 300 mm boyutundaki yüzeyin termal olarak eşit kalmasını sağlar; yumuşak fırınlama, sert fırınlama ve kurutma işlemleri sırasında yüzeydeki sıcaklık ±0,1°C aralığında kalır. Hızlı tepki süresi sayesinde sıcaklık değerleri istenen seviyede kalır. Sıcak bölge, Class 1’den Class 100’e kadar olan temiz oda koşullarına uygundur ve düzenli çalışma durumunda hiçbir parçacık üretmez. Böylece 7/24 güvenilirlik elde edilir ve her parti için CD kalitesi ve kalınlığı sabit kalır.
Litografideki rolü:
Litografide, yumuşak fırınlama işlemi çözücülerin uzaklaştırılması ve film üzerindeki stresin kontrol altına alınması amacıyla kullanılır; sert fırınlama ise görüntünün sabitlenmesini ve foto direnç malzemesinin aşındırma veya yerleştirme işlemleri için hazır hale getirilmesini sağlar. Eşit kızılötesi ısı ile camın geçiş davranışı yüzey genelinde tutarlı kalır. Kenar bölgelerdeki davranışlar öngörülebilir olur ve kritik boyutlar sabit kalır. Bunun sonucunda daha az yeniden işlem gerekliliği, daha düzenli dağılımlar ve daha az atık ortaya çıkar.
Enerji tüketimi:
Ayrıca enerji tüketimi de azalır. Sistem yalnızca hedeflenen alanı ısıtır ve hızla ısınır; böylece termal kütle kontrol altında kalır ve enerji tüketimi de buna göre düşer.
Pratik kullanım:
Sıcak bölge oldukça kompakttır ve ray veya kaplama/fırınlama modülüne entegre edilebilir. Wafer’in taşınması sırasında gerekli olan boşluklar çok azdır ve hava akışının yönlendirilmesi mevcut havalandırma sistemine uygun olmalıdır.
Kurulum süreci:
Kurulum süreci kısadır; lambanın gücü, emisivitesi ve PID ayarları yapılır. Ayarlar yapıldıktan sonra profil tekrarlanır. Ancak foto direnç malzemesinin kimyasal yapısını değiştirirseniz veya daha kalın filmler kullanırsanız, aynı eşitlik ve performansı korumak için yeniden ayarlamalar yapmanız gerekecektir.