CMP sonrası yonga kurutma ısıtıcısı
Üretim alanında, slurrydan çıkan ve yüzeyinde hâlâ mikro damlacıklar bulunan Post CMP waferleri, aslında üretim sürecinde başarıya ulaşmış...
300mm wafer için sabit ısı IR
300 mm boyutundaki yüzeylerde, fırınlama işlemi sırasında profilin bozulmaya başladığını hissedebilirsiniz. Çizgi kalınlıkları değişir ve geliştirme...