Прекратите тратить энергию впустую в вашей вакуумной камере.
Вот реальность работы в вакууме: процесс конвекции исчезает. Остается только излучение. Если не быть осторожным, большая часть дорогостоящей энергии просто теряется в стенках камеры. При обработке пластин каждый потраченный ватт — это на самом деле недостаток конструкции.
Поэтому мы используем отражатели, покрытые золотом. Это звучит сложно, но на самом деле все просто. Нам нужно, чтобы инфракрасная энергия падала на пластину, а не впитывалась в стальные поверхности.
Почему именно золото?
Большинство людей начинают с использования полированного алюминия или нержавеющей стали. Для нас они выглядят блестящими, но в инфракрасном спектре они похожи на губки — они поглощают слишком много энергии. Мы заменяем их слоем высокочистого золота. Золото отлично отражает инфракрасные волны обратно туда, откуда они пришли. Это позволяет сократить время нагрева и сохранять оптимальную температуру.
Сделаем каждый ватт пригодным для использования
Поддержание стабильной температуры на пластине размером 300 мм — задача непростая. Это требует точного балансирования. Сокращая потери энергии благодаря использованию золота, можно снизить мощность ламп. Температура поверхности останется прежней, но мощность будет меньше. Ваши источники питания будут благодарны вам за это.
Но есть один недостаток…
Эта эффективность имеет свои последствия. Такие системы сосредотачивают тепло очень сильно. Если положение лампы отклонится всего на несколько миллиметров, возникнут сильные температурные перепады. Нельзя экономить на контроллерах PID или термопарах — они должны работать достаточно быстро, чтобы справиться с этой ситуацией. Также необходимо тщательно проверить систему охлаждения. Если она не способна справиться с отраженным теплом, это может привести к повреждению уплотнительных элементов.
Мы разрабатываем такие устройства так, чтобы они можно было легко встраивать в существующие вакуумные системы. Цель — направить тепло именно туда, где оно нужно: на саму пластину. Без лишних потерь. Без перегрева ненужных элементов. Просто чистое и эффективное тепло.