На участке обработки пластин после процедуры CMP пластина, выходящая из раствора, все еще содержит микрокапли жидкости на своей поверхности. Это...

На линиях обработки пластин размером 300 мм можно заметить проблемы, когда профиль нагрева начинает отклоняться от заданных параметров. Ширина линий...

На производственном этаже несколько градусов могут определить, пройдет ли пластина или уйдет в утиль. Один горячий участок во время мягкого запекания...

На линии часы — это не рекомендация, а предел. После нанесения методом центрифугирования на пластине остаётся тонкая плёнка фоторезиста, которую...