Por que abandonamos o ozônio em nossas lâmpadas de cura por IR
Nas fábricas de semicondutores, “limpeza” não é apenas um objetivo – é essencial. Se restar até mesmo uma pequena quantidade de resíduos químicos, surge um problema. É por isso que passamos a usar lâmpadas de infravermelho (IR) sem ozônio.
A maioria dos sistemas tradicionais de IR de onda curta acaba gerando ozônio como subproduto. Isso não é bom. Ao eliminar esse problema, não estamos apenas cumprindo os padrões ambientais da indústria; também estamos protegendo o equipamento.
A ciência por trás disso (sem os detalhes tediosos)
O que acontece por trás disso é o seguinte: as lâmpadas de IR convencionais emitem radiação na faixa de 185 nm a 254 nm. Essa energia atinge o oxigênio no ar, dividindo-o em partes, o que gera ozônio.
Em uma sala limpa, o ozônio é um verdadeiro pesadelo. Ele danifica os metais delicados e os polímeros orgânicos. Para evitar isso, usamos revestimentos especiais nos tubos de quartzo. Eles funcionam como filtros, bloqueando o espectro de radiação UV.
Assim, você mantém toda a intensidade de calor necessária, mas sem gases corrosivos.
Pare de aquecer o ar
Pense em um forno de convecção gigante. Você gasta muito dinheiro e eletricidade apenas para aquecer todo aquele ar. É um desperdício.
As lâmpadas de IR são diferentes. Elas aquecem diretamente o substrato. É mais rápido e eficiente. Como não desperdiçamos energia aquecendo todo o ambiente, o consumo de energia por wafer diminui significativamente. Você está aquecendo apenas a parte desejada, e não todo o ambiente.
A verdade sobre essa mudança
Não vou dizer que é uma solução mágica. Há algumas coisas que precisam ser levadas em consideração.
Como filtramos essas ondas específicas para eliminar o ozônio, a distribuição espectral muda um pouco. Não basta simplesmente ligar a lâmpada. Provavelmente será necessário ajustar a velocidade do transportador ou a altura da lâmpada para que o processo de cura funcione corretamente.
E se você estiver operando uma linha de alta velocidade? Certifique-se de que seus controladores PID estejam ajustados para o tempo de resposta específico dessas lâmpadas.
A boa notícia é que essas lâmpadas podem ser usadas como substitutas diretas das antigas. Você pode manter sua configuração atual, mas finalmente poderá parar de se preocupar com contaminações.