Pare de desperdiçar calor em sua câmara de vácuo!
A realidade de trabalhar em condições de vácuo é que a convecção não existe mais. Resta apenas a radiação. Se você não tiver cuidado, a maior parte da energia gasta acaba se perdendo nas paredes da câmara. Ao processar wafers, cada watt desperdiçado representa um defeito no design do sistema.
É por isso que utilizamos refletores revestidos com ouro. Pode parecer algo sofisticado, mas na verdade é bem simples: queremos que a energia infravermelha atinja o wafer, e não que ela seja absorvida pelo aço.
Por que ouro?
A maioria das pessoas começa usando alumínio polido ou aço inoxidável. Eles parecem brilhantes aos nossos olhos, mas no espectro infravermelho, eles agem como esponjas – absorvem muito calor.
Em vez disso, usamos uma camada de ouro de alta pureza. O ouro é excelente para refletir as ondas infravermelhas de volta ao lugar certo. Isso faz com que o calor seja direcionado para o wafer. O resultado? Tempos de aquecimento mais rápidos e menor consumo de energia.
Faça com que cada watt conte
Manter uma temperatura constante em um wafer de 300 mm é um desafio. É preciso equilibrar tudo.
Ao reduzir as perdas por radiação com o uso de ouro, você pode diminuir a potência dos lâmpadas. Você obtém a mesma temperatura de superfície, mas com menos densidade de energia. Suas fontes de alimentação vão agradecer por isso.
Mas há um problema…
Essa eficiência vem com um alerta: esses sistemas concentram o calor de maneira intensa. Se a posição das lâmpadas estiver errada, mesmo que seja por poucos milímetros, haverá grandes gradientes térmicos. Não se pode negligenciar os controladores PID ou os termopares – eles precisam ser rápidos o suficiente para acompanhar essa situação. Além disso, verifique se o sistema de resfriamento é capaz de lidar com o calor refletido nas bordas do wafer. Caso contrário, seus selos podem ser danificados.
Projetamos esses sistemas para se encaixarem perfeitamente nas suas linhas de vácuo existentes. O objetivo é direcionar o calor exatamente para onde ele precisa estar: no substrato. Sem desperdícios. Sem superaquecimento de partes indesejadas. Apenas calor eficiente e preciso.