Zorgen dat de verwarmers in uw schone ruimte niet ontploffen
In de wereld van halfgeleiderfabrieken betekent een defecte verwarmer in een karretje zeker meer dan alleen een “technisch probleem”. Het is een nachtmerrie. U hebt niet alleen te maken met stilstand, maar ook met besmetting die kan leiden tot het verlies van hele batches wafer’s.
Wij bouwen deze apparaten om ervoor te zorgen dat de wafer’s op een constante temperatuur blijven. Maar de echte uitdaging ligt erin om ervoor te zorgen dat de elektriciteit precies waar moet zijn.
Waarom we de spanning tot het uiterste brengen
Voordat een apparaat onze fabriek verlaat, wordt het onderworpen aan een “stresstest” met behulp van HiPot- en isolatieproeven.
We controleren niet alleen of de stroom aanstaat. We sturen de spanning veel hoger dan de werkelijke waarde in de fabriek. Waarom? Omdat we willen dat eventuele verborgen gebreken zich manifesteren.
Stel je voor dat er een klein, microscopisch klein scheurtje in het keramische materiaal zit, of dat er een draad beschadigd is tijdens het montageproces. Bij normale spanningen werkt het misschien nog wel goed. Maar bij hoge spanningen? Dan zal de lekstroom optreden. Dat is een storing.
Het is voor ons veel gemakkelijker om zulke problemen in ons laboratorium op te sporen, dan voor u nadat u het apparaat al in uw schone ruimte hebt geplaatst.
Het gevaar van “lekstroom”
Als de isolatiewaarde daalt, ontstaat er lekstroom. In een halfgeleideromgeving is dit een ramp. Het beïnvloedt de gevoelige instrumenten en zorgt er voor dat de sensoren onstabiel werken.
We meten de afstand tussen de hete verwarmer en het geaard chassis, om te controleren of de isolatiewaarden voldoende zijn.
Maar hier komt het lastige: hitte zorgt er namelijk voor dat materialen uitzetten. Een verwarmer ziet er misschien perfect uit wanneer deze koud is, maar bij 200°C zullen de materialen uitzetten. Als de isolatie niet sterk genoeg is, zal deze onder deze druk verslechteren. We nemen deze thermische uitzetting in rekening in ons QC-proces, zodat u zich hier geen zorgen over hoeft te maken.
De balans vinden
Er is altijd een compromis nodig. Als u een zeer hoge isolatiewaarde wilt, heeft u meestal dikere coatings of grotere componenten nodig.
Het nadeel? Meer massa. Meer massa betekent dat het wat langer duurt voordat de gewenste temperatuur wordt bereikt.
U moet beslissen wat belangrijker is voor uw specifieke situatie: absolute elektrische isolatie of een snelle temperatuurstijging. Let op: als u kiest voor apparaten met hoge isolatiewaarden, moet u ervoor zorgen dat uw stroomvoorziening de hoge stroomsterking kan verwerken.