Op de productielijn kan een temperatuursverandering tijdens het karakteriseren van de wafers juist de resultaten van uw modellen verstoren en de mogelijkheden voor het proces beperken. Een verschil van een halve graad kan de beperkingen van de apparaten verbergen. Het herhalen van het proces om dit probleem op te lossen, leidt alleen maar tot verspilling van tijd en energie. Wat u nodig heeft, is een heater die de gewenste temperatuur nauwkeurig behoudt, net zoals een metronoom dat doet – geen gokken dus.
Wat technisch gezien belangrijk is: Deze heater houdt de thermische uniformiteit op het niveau van de wafel op een waarde van ±0,1°C binnen het metingsterrein. De herhaalbaarheid tussen verschillende metingen ligt bij ±0,05°C. Het thermische ontwerp zorgt ervoor dat de massa laag blijft en dat het systeem in een gesloten circuit werkt. Hierdoor wordt de temperatuur snel bereikt en blijft deze stabiel, zonder dat de thermische limieten worden overschreden. De heater is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot klasse 100. De materialen en componenten zorgen er bovendien voor dat er geen stofdeeltjes vrijkomen tijdens het gebruik. Tijdens testruns heeft de heater 24/7 gewerkt, zonder ongeplande stilstand. De temperatuur blijft stabiel, ongeacht of er sprake is van zachte of harde bewerkingen van de wafels.
Waarom het in de praktijk werkt: U hebt controle over het proces, zodat u dit ook kunt documenteren. De bewerking van de fotoresist vindt volgens de vereisten plaats, en de metingen van de dikte en breedte van de lijnen zijn nauwkeurig. U hoeft zich geen zorgen meer te maken over temperatuursverschillen. Omdat de heater weinig thermische inertie heeft, neemt de tijd die nodig is voor één cyclus af, en daarmee ook het energieverbruik per batch.
De heater past gemakkelijk in standaardopstellingen voor karakterisering. U kunt hem zo vervangen zonder dat u de configuratie van de apparatuur hoeft aan te passen. Het voordeel is dat er minder herhalingen nodig zijn, de resultaten nauwkeuriger zijn en de gegevens stabiel blijven, ongeacht welk product er wordt geproduceerd.
Enkele praktische tips voordat u hem gebruikt: Voor de installatie is een aparte, gefilterde stroombron nodig, evenals goede aardelekking, om storingen door elektromagnetische velden te voorkomen. De heater bereikt snel de gewenste temperatuur. Pas de PID-instellingen dus aan op de massa van de chuck en de wafel. De heater voldoet aan internationale standaarden voor semiconductoorapparatuur. Controleer echter nogmaals de afmetingen en aansluitingen voordat u hem voor het eerst gebruikt.