Stop met het verspillen van warmte in uw vacuümkamer
Dit is de realiteit van werken in een vacuüm: convectie bestaat niet meer. Er blijft alleen nog straling over. Als u niet voorzichtig bent, verdwijnt het grootste deel van de kostbare energie gewoon in de wanden van de kamer. Wanneer u wafers verwerkt, betekent elke verspilde watt een ontwerp fout.
Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Het klinkt ingewikkeld, maar het is eigenlijk vrij simpel. We willen dat de infrarode energie op de wafer terechtkomt, in plaats van in het staal te verdwijnen.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met gepolijst aluminium of roestvrij staal. Die materialen zien er glanzend uit, maar in het infraroodbereik werken ze als sponsen: ze nemen te veel energie op.
We vervangen deze materialen door een laag van hoogwaardig goud. Goud is uitstekend in staat om infrarode golflengten terug te sturen naar waar ze horen te zijn. Hierdoor wordt de warmte richting het doel gestuurd. Het resultaat? De opwarmtijd wordt korter en de warmtetoevoer blijft beperkt.
Elke watt moet worden benut
Het behouden van een constante temperatuur op een 300mm grote wafer is een uitdaging. Het is een kwestie van balans vinden.
Door de stralingsverliezen met behulp van goud te verminderen, kunt u de lampen minder krachtig laten werken. U krijgt dezelfde oppervlaktetemperatuur, maar met minder vermogensdichtheid. Uw stroomvoorzieningen zullen u hiervoor zeker dankbaar zijn.
Het nadeel (want er is altijd één)
Deze efficiëntie heeft echter ook nadelen. Deze systemen concentreren de warmte zeer sterk.
Als de positie van de lampen zelfs maar een paar millimeter verschilt, ontstaan er sterke temperatuurverschillen. U kunt geen compromissen sluiten met de PID-controllers of thermocoupons – ze moeten snel genoeg reageren om het tempo bij te houden. Controleer ook goed uw koelingssysteem. Als dit niet geschikt is om de weerkaatste warmte te verwerken, kunnen de sealings beschadigen.
We ontwerpen deze systemen zodat ze gemakkelijk in uw bestaande vacuümlijnen passen. Het doel is om de warmte precies daar te brengen waar ze nodig is: op het substraat. Geen verspilling. Geen oververhitting van de verkeerde delen. Alleen maar schone, efficiënte warmte.