Berhenti menggunakan kaedah memanaskan peralatan secara langsung: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer
Inilah masalah yang dihadapi dalam proses pengeluaran semikonduktor: kita perlu memanaskan wafer tersebut, tetapi pada masa yang sama tidak mahu bahagian dalaman mesin melebur akibat panas yang berlebihan.
Kebanyakan pemanas biasa hanya menyebarkan haba ke seluruh kawasan. Ini menyebabkan kekacauan. Haba yang terbuang ini akan menumpuk pada badan mesin, sehingga boleh menyebabkan pekerja terbakar. Selain itu, rangka mesin juga akan berubah bentuk akibat panas tersebut. Ini bukan cara yang baik untuk mengendalikan makmal.
Mengarahkan haba dengan tepat
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lampu inframerah bergelombang pendek. Daripada menggunakan udara untuk mengalirkan haba, lampu inframerah menggunakan sinaran untuk mengarahkan haba tersebut ke permukaan wafer. Ia sama seperti menggunakan lampu sorot berbanding lampu umum. Kebanyakan tenaga akan sampai ke tempat yang sepatutnya, dan dinding dalaman mesin akan kekal sejuk.
Mencari titik keseimbangan
Jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, habanya akan menjadi terlalu kuat, sehingga akan timbul “titik panas” dan suhu tidak akan merata. Namun, jika lampu diletakkan terlalu jauh, kecekapan pemanasan akan berkurangan. Tenaga akan tersebar ke seluruh bilik, bukan hanya pada wafer.
Anda perlu menentukan jarak fokus yang sesuai berdasarkan saiz wafer. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat.
Mempastikan keselamatan
Matlamatnya adalah agar mesin tetap sejuk apabila disentuh dari luar. Dengan mengasingkan sumber haba dan menggunakan lensa yang sesuai, kita dapat memastikan dinding dalaman mesin kekal di bawah tahap yang selamat.
Namun, ingatlah bahawa lampu berkuasa tinggi akan menjadi sangat panas di bahagian sumber haba. Pengudaraan atau sistem penyejukan perlu cukup kuat untuk menangani jumlah tenaga yang dihasilkan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba tersebut akan meresap melalui lapisan penebat, tanpa mengira betapa baiknya arah panduan lampu tersebut.
Satu petua lagi: gunakan kabel yang tahan suhu tinggi. Tiada siapa yang mahu berhadapan dengan lapisan penebat yang cair berhampiran soket lampu.