진공 챔버에서의 열 낭비를 막으세요.
진공 상태에서 작업할 때의 현실은 대류가 일어나지 않는다는 것입니다. 그러므로 남는 것은 복사열뿐입니다. 조심하지 않으면, 값비싼 에너지가 그대로 챔버 벽으로 사라져버립니다. 웨이퍼를 처리할 때마다, 낭비되는 에너지는 곧 설계상의 결함으로 이어집니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 듣기에는 복잡해 보이지만, 실제로는 아주 간단한 원리입니다. 우리는 적외선 에너지가 웨이퍼에 도달하도록 하고, 강철 속으로 스며들지 않도록 하는 것입니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 광택이 나는 알루미늄이나 스테인리스 스틸을 사용합니다. 우리에게는 반짝거리는 것처럼 보이지만, 적외선 영역에서는 마치 스펀지처럼 엄청난 양의 에너지를 흡수합니다.
그래서 우리는 고순도 금층을 사용합니다. 금은 적외선 파장을 제자리로 반사하는 데 매우 효과적입니다. 그 결과, 가열 속도가 빨라지고 열 발생도 줄어듭니다.
모든 에너지를 효율적으로 활용하기
300mm 웨이퍼 전체에 일정한 온도를 유지하는 것은 매우 어렵습니다. 이는 균형을 잡는 문제입니다.
금을 사용하여 복사열 손실을 줄이면, 램프의 세기를 줄일 수 있습니다. 동일한 표면 온도를 유지하면서도 더 적은 에너지가 필요합니다. 그러면 전원 공급 장치도 안도할 것입니다.
하지만 단점도 있습니다
이러한 효율성에는 한 가지 단점이 있습니다. 이러한 시스템은 열을 집중시킵니다.
램프의 위치가 몇 밀리미터만 잘못되어도 엄청난 온도 차이가 생깁니다. PID 컨트롤러나 서미스터도 충분히 빠르게 반응해야 합니다. 또한 냉각 시스템도 잘 확인해야 합니다. 주변부의 반사된 열을 감당할 수 없다면, 밀봉 부품이 손상될 수 있습니다.
우리는 이러한 장치들을 기존의 진공 시스템에 쉽게 연결할 수 있도록 설계했습니다. 중요한 것은 열을 정확히 필요한 곳, 즉 기판 위에 전달하는 것입니다. 낭비가 없으며, 잘못된 부분이 과열되지도 않습니다. 오직 깨끗하고 효율적인 열 전달만이 가능합니다.