真空チャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。
真空状態で作業する際の現実として、対流は起こりません。残るのは放射熱だけです。注意しなければ、高価なエネルギーのほとんどがチャンバーの壁に吸収されてしまいます。ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは設計上の欠陥と言えます。
そのため、私たちは金メッキされた反射板を使用します。聞こえは豪華ですが、実際にはとてもシンプルな仕組みです。インフラアレッド光をウェーハに当てて、鋼鉄に吸収されないようにしたいのです。
なぜ金なのか？
多くの人々は、光沢のあるアルミニウムやステンレス鋼を使います。目には美しく見えますが、赤外線領域では、まるでスポンジのように過剰に熱を吸収してしまいます。
そこで、高純度の金層を使用します。金は赤外線を元の場所に戻すのに非常に優れています。これにより、加熱時間が短縮され、熱の散逸も少なくなります。
1ワットも無駄にしない
300mmのウェーハ全体で均一な温度を維持するのは難しいです。バランスを取る必要があります。
金を使って放射熱を減らすことで、実際にはランプの出力を下げることができます。同じ表面温度を得ながら、消費電力を抑えることができます。電源装置にとっても助かります。
ただし、注意点もあります
このような効率化には、注意が必要です。このシステムは熱を集中させます。
もしランプの位置が数ミリミリでもずれていると、極端な温度差が生じます。PIDコントローラーや熱電対を甘く見てはいけません。十分に迅速に反応できるものでなければなりません。また、冷却システムも確認が必要です。周辺部分の熱を処理できる大きさでなければ、シール部品が壊れてしまいます。
私たちは、既存の真空ラインに簡単に取り付けられるように設計しています。目的は、熱を正確に必要な場所、つまり基板上に送ることです。無駄なく、不必要な部分が過熱することもありません。クリーンで効率的な熱供給が実現します。