מנורת אפייה לחומרי הגנה נגד קרינת UV עמוקה (DUV)

בחדר הייצור, תהליך חימום הפוטורזיסט אינו רק “הפסקה” בתהליך – זהו שלב בקרה שאי אפשר לעקוף אותו. שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לסטייה במידות...