בקו הייצור, סטייה של 0.1°C במחמם ה-AFM אינה רק נזק למדידה. היא עלולה להשפיע על אפיית רך וקשה של הפוטורזיסט, ולפגוע באיזון התקציב התרמי הכולל. כאשר...

Out on the line, a fab heater’s thermal profile is only as solid as the power feeding it. A voltage dip, a loose termination, or a cable whose...