چرا از استفاده از ازون در فرآیند خشککردن با نور مادون قرمز صرفنظر کردیم؟
در کارخانههای ساخت تراشه، «تمیزی» فقط یک هدف نیست؛ بلکه همه چیز بر پایه تمیزی استوار است. اگر حتی مقدار کمی از مواد شیمیایی باقی بماند، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. به همین دلیل، ما از لامپهای مادون قرمز بدون ازون استفاده کردیم.
در اکثر سیستمهای مادون قرمز سنتی، ازون به عنوان محصول جانبی تولید میشود؛ این موضوع خوب نیست. با حذف ازون، نه تنها معیارهای زیستمحیطی رعایت میشود، بلکه از سختافزارها نیز محافظت میشود.
علم پشت این فرآیند
لامپهای مادون قرمز استاندارد، تشعشعاتی در بازه ۱۸۵ نانومتر تا ۲۵۴ نانومتر تولید میکنند. این انرژی، اکسیژن موجود در هوا را تجزیه کرده و منجر به تولید ازون میشود.
در اتاقهای تمیز، ازون واقعاً یک مشکل بزرگ است؛ زیرا باعث تخریب رزوههای فلزی ظریف و پلیمرهای آلی میشود. برای جلوگیری از این مشکل، از روکشها و مواد ویژهای در لولههای کوارتزی استفاده میکنیم؛ این مواد مانند فیلتر عمل کرده و از نفوذ تشعشعات UV جلوگیری میکنند.
شما همچنان میتوانید از گرمای لازم برای خشککردن استفاده کنید، اما هیچ گاز خورندهای وجود نخواهد داشت.
دیگر نیازی به گرم کردن هوا نیست
فکر کنید یک فر بزرگ دارید؛ شما مقدار زیادی پول و انرژی را صرف گرم کردن هوا میکنید. این کار بیفایده است.
لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها مستقیماً روی سطح مورد نظر تأثیر میگذارند. این روش سریعتر و کارآمدتر است؛ چون ما انرژی را صرف گرم کردن کل اتاق نمیکنیم، مصرف انرژی برای هر ویفر نیز کاهش مییابد. شما فقط قطعه مورد نظر را گرم میکنید، نه کل فضای اطراف آن.
حقیقت درباره این تغییر
نمیخواهم بگویم که این روش جادویی است؛ اما چند نکته وجود دارد که باید در نظر بگیرید.
از آنجایی که ما طول موجهای خاصی را فیلتر میکنیم تا ازون تولید نشود، توزیع طول موجها کمی تغییر میکند. نمیتوانید فقط کلید را فشار دهید و از این موضوع چشمپوشی کنید؛ احتمالاً باید سرعت نوساندهندهها یا ارتفاع لامپها را تنظیم کنید تا فرآیند خشککردن دقیقاً همانطور که باید انجام شود.
و اگر از خطوط تولید با سرعت بالا استفاده میکنید، مطمئن شوید که کنترلکنندههای PID شما برای زمان پاسخگویی این لامپها تنظیم شدهاند.
خبر خوب این است که این لامپها به گونهای طراحی شدهاند که به جای لامپهای قدیمی قابل استفاده باشند؛ شما میتوانید سیستم فعلی خود را حفظ کنید، اما دیگر نیازی به نگرانی درباره آلودگی نخواهید داشت.