دیگر وقت خود را صرف گرم کردن هوا نکنید؛ چرا که منعکنهای طلا و امواج مادون قرمز واقعاً مؤثر هستند.
بیایید صادق باشیم؛ تلاش برای گرم کردن ویفرهای نیمههادی با استفاده از هوای گرم، کاری بیفایده است. در واقع، نیمی از زمان خود را صرف انتظار برای گرم شدن سطح ویفر میکنیم؛ در حالی که انرژی زیادی نیز برای گرم کردن فضای خالی اتاق هدر میرود. این روش کارایی لازم را ندارد.
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز و منعکنهای طلا استفاده میکنیم. به جای استفاده از هوا، گرما مستقیماً به ماده هدف منتقل میشود. این روش، روشی مؤثرتر است.
چرا طلا؟
منعکنهای آلومینیومی زیادی وجود دارد، اما آنها انرژی زیادی را از دست میدهند. طلا متفاوت است؛ این فلز توانایی عالیای در بازتاب نور مادون قرمز به همان جایی که لازم است، دارد.
وقتی از طلا استفاده میکنیم، فوتونها توسط بدنه لامپ جذب نمیشوند؛ بلکه مستقیماً به هدف برخورد میکنند. در نتیجه، گرمای تولید شده در نقاط مشخصی تمرکز میشود. مهم این نیست که گرمای بیشتری تولید شود، بلکه مهم این است که گرما در همان جایی که میخواهیم، تولید شود.
تفاوت در عمل
استفاده از هوای گرم، به روش همرفت نیاز دارد؛ که این روش کند است. همچنین، این روش باعث ایجاد نقاط سرد در سطح ویفر میشود.
اما امواج مادون قرمز، فوراً اثر خود را نشان میدهند. در فرآیندهای پیچیده، این روش باعث میشود زمان لازم برای گرم شدن ویفر از دقایق به ثانیهها کاهش یابد. این همان مزیت واقعی این روش است. وقتی دیگر نیازی به انتظار برای گرم شدن هوا نیست، سرعت کار افزایش مییابد.
مشکلات احتمالی
امواج مادون قرمز با شدت بالا، روشی قدرتمند اما خطرناک است. اگر ویفر بیش از حد نازک باشد، یا کنترلکننده PID به درستی تنظیم نشده باشد، میتواند باعث افزایش بیش از حد دما شود و ویفر را خراب کند. بنابراین، باید مطمئن شوید که سنسورها و فنهای خنککننده، قادر به مقابله با این افزایشهای ناگهانی دما باشند.
یک نکته دیگر: منعکنهای طلا را تمیز نگه دارید. کمی گرد و غبار یا اکسیداسیون، ممکن است چندان مشکلی ایجاد نکند، اما میتواند باعث کاهش کارایی منعکنها شود. در این صورت، لامپها باید دو برابر تلاش کنند تا جبران کنند؛ این امر نیز باعث فرسودگی سریع لامپها میشود.
کافی است آنها را به منبع تغذیه دقیق متصل کنید و آنها را تمیز نگه دارید؛ در این صورت مشکلی نخواهید داشت.