دیگر اجازه ندهید گرما در محفظه خلأ هدر رود!
واقعیت کار در محیط خلأ این است که پدیده همرفت گرما وجود ندارد؛ تنها گذار گرما باقی میماند. اگر مراقب نباشید، بخش عمدهای از انرژی گرانقیمت شما در دیوارههای محفظه از بین خواهد رفت. هنگام پردازش ویفرها، هر وات انرژی که هدر میرود، در واقع یک نقص در طراحی سیستم محسوب میشود.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. البته این روش به نظر پیچیده میرسد، اما در واقع بسیار ساده است. ما میخواهیم که انرژی مادون قرمز به ویفر برخورد کند، نه اینکه در فولاد جذب شود.
چرا طلا؟
بیشتر مردم از آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ برای این منظور استفاده میکنند؛ این مواد در نظر ما براق به نظر میرسند، اما در طیف مادون قرمز، مانند اسفنج عمل کرده و انرژی زیادی را جذب میکنند. ما این مواد را با لایههای طلا جایگزین میکنیم؛ طلا در بازتاب امواج مادون قرمز بسیار مؤثر است. در نتیجه، زمان لازم برای گرم شدن ویفر کمتر میشود و میزان گرمای تولید شده نیز کنترل میشود.
استفاده بهینه از هر وات انرژی
حفظ دمای یکنواخت روی ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری کار دشواری است. با استفاده از طلا، میتوانید میزان انرژی مصرفی را کاهش دهید؛ در نتیجه، دمای سطح ویفر همان باقی میماند، اما میزان انرژی مصرفی کمتر خواهد بود. منابع تغذیه سیستم نیز از این کار سپاسگزار خواهند بود.
معایب این روش
البته، این روش کارآمدی دارد، اما معایبی نیز دارد. این سیستمها گرما را به شدت متمرکز میکنند. اگر موقعیت لامپها حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، شاهد تفاوتهای شدید دمایی خواهید بود. نمیتوانید از کنترلکنندههای PID یا ترموکپلها غفلت کنید؛ زیرا آنها باید به اندازه کافی سریع عمل کنند تا بتوانند این تفاوتهای دمایی را کنترل کنند. همچنین، باید سیستم خنککننده را به خوبی بررسی کنید؛ اگر اندازه آن برای مقابله با گرمای تولید شده کافی نباشد، ممکن است قطعات سیستم آسیب ببینند.
ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی در خطوط خلأ موجود نصب شوند. هدف ما این است که گرما دقیقاً در جایی قرار بگیرد که نیاز است: روی سطح ویفر. بدون هدررفت انرژی، بدون گرم شدن بیش از حد بخشهای نامناسب. فقط گرمای کارآمد و مؤثر.