Hören Sie auf, Ihre Geräte zum Heizen zu verwenden – es gibt eine bessere Methode, um Wafern zu erhitzen.
Das Problem bei der Halbleiterbearbeitung ist folgendes: Man muss die Wafer erhitzen – doch man möchte dabei nicht, dass die Innenteile der Maschine schmelzen.
Die meisten Standardheizungen leiten die Energie einfach überallhin. Das ist unpraktisch. Die nutzlose Wärme sammelt sich am Gehäuse an – dadurch können die Bediener verbrannt werden, und das Gehäuse der Maschine verformt sich durch die Hitze. Das ist keine gute Lösung für ein Labor.
Fokussierung der Wärme
Wir lösen dieses Problem, indem wir Kurzwellen-Infrarotlampen verwenden. Anstelle von Luft zur Übertragung der Wärme nutzen diese Lampen Strahlung.
Der Trick besteht darin, goldbeschichtete Reflektoren oder Fokallinsen zu verwenden. Dadurch kann die Wärme direkt auf die Oberfläche der Wafer gelenkt werden. Es ist, als würde man einen Scheinwerfer statt einer Allgemeinbeleuchtung verwenden. Die meisten Energien geht dorthin, wohin sie sollen – die Innenwände bleiben dabei viel kühler.
Finden des optimalen Abstands
Der Abstand ist hier entscheidend. Wenn die Lampe zu nah angebracht wird, ist die Wärmeintensität zu hoch – es entstehen „heiße Punkte“ anstatt einer gleichmäßigen Temperatur. Wenn die Lampe jedoch zu weit entfernt ist, geht die Effizienz verloren. Die Energie streut sich aus, und plötzlich wird nicht nur die Wafer, sondern ganze Räume erhitzt.
Man muss den Fokalabstand entsprechend der Größe der Wafer genau einstellen – es geht dabei um das Gleichgewicht.
Sicherheit gewährleisten
Das Ziel ist es, dass die Maschine von außen angenehm kühl in der Berührung ist. Durch die Isolierung der Infrarotquelle sowie die Verwendung dieser gerichteten Optiken können wir sicherstellen, dass die Innenwände weit unter der „Gefahrenzone“ bleiben.
Aber denken Sie daran: Hochleistungslichtquellen werden an der Quelle extrem heiß. Die Kühllüfter oder -systeme müssen stark genug sein, um die gesamte Leistung zu bewältigen. Wenn die Kühlung unzureichend ist, wird die Hitze letztendlich trotz der guten Ausrichtung der Lampen durch die Isolierung dringen.
Ein weiterer Tipp: Verwenden Sie Hochtemperaturkabel. Niemand möchte mit geschmolzenen Isolierungen in der Nähe der Lampensockel konfrontiert werden.