Auf dem Fertigungsboden können bereits wenige Grad entscheiden, ob ein Wafer erfolgreich verarbeitet wird oder im Schrott landet. Ein Hotspot während des Soft-Bake- oder Hard-Bake-Prozesses, und Sie drucken eine Linie, die alles andere als gleichmäßig ist. Der Wafer verlässt die Station bereits über seinem thermischen Budget.
Wir haben den Best-Selling Wafer Heater 2026 entwickelt, um diese Variabilität auszuschließen. Was unter der Haube wichtig ist Die Plattform verwendet kurzwellige Infrarot (SWIR) Halogenstrahler in einer quartzverstärkten Kammer, die auf eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C über das Substrat abgestimmt ist. Die Wiederholgenauigkeit von Zyklus zu Zyklus liegt bei ±0,2 °C, sodass Ihre kritischen Bake-Profile – Soft Bake, Hard Bake und Post-Apply Bake – innerhalb der Spezifikationen bleiben. Er ist kompatibel mit Reinraumklasse 1–100, gebaut aus emissionsarmen Materialien und einem partikelkontrollierten Luftstromweg, der Hintergrundzählungen minimiert. Die Nullpartikelerzeugung am Heizpunkt ist kein Slogan; es ist eine Designvorgabe, die wir mit in-situ Metrologie verifizieren. Das System ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt mit feldvalidierten MTBF und wartbaren Modulen, sodass ungeplante Ausfallzeiten dort bleiben, wo sie hingehören – minimiert. Warum es in der Lithographie und Photoresistverarbeitung wichtig ist Die Temperatur bestimmt die CD-Kontrolle, den Profilneigungswinkel und die Defektdichte. Wenn der Heizgerät die Bake-Profile in engeren Bändern hält, sehen Sie weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss und Qualifikationszyklen, die pünktlich abgeschlossen werden. Der Energieverbrauch ist dank schneller Anlaufzeit bis zum Sollwert und niedriger Standby-Verluste effizienter. Sie senken die Betriebskosten, ohne die Durchsatzrate zu verringern. Der Nutzen zeigt sich in stabiler Linienbreite, weniger Defekten und einer Ausbeute, auf die Sie sich verlassen können. Die praktischen Details Sie benötigen einen dedizierten 230 V Stromkreis und verifiziertes Kühlmittel, um die Temperatur des Emitters über lange Kampagnen stabil zu halten. Der Platzbedarf ist kompakt, jedoch ist die Integration gut zu planen. Bestätigen Sie vor der Installation die Kompatibilität mit der Werkzeug-PLC, die Anschlussausrichtung und die lokale Abluftführung. Sobald alles ausgerichtet ist, funktioniert das Gerät als eine Set-and-Forget-Wärmeplattform, die den Prozess unter Kontrolle hält.