Das Ende des Albtraums einer defekten Lampe
Beim Trocknen von Wafern unter hohem Druck ist das Versagen einer Lampe nicht einfach nur ein „Wartungsproblem“ – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Einen Moment lang ist alles in Ordnung, im nächsten Moment befinden sich überall Quarzkristalle und Halogenablagerungen auf den Wafern. Das bedeutet viele vernichtete Produkte sowie große Probleme für alle Beteiligten. Deshalb betrachten wir unsere Reflektoren nicht einfach als Werkzeuge zur Reflexion von Infrarotstrahlung – wir sehen sie vielmehr als erste Verteidigungslinie gegen solche Probleme.
Vermeidung von Unordnung
Wir verwenden eine spezielle Geometrie der Reflektoren oder Schutzschirme, die die Lampe vollständig umhüllen. Man kann das als „Sicherheitsnetz“ betrachten. Wenn die Quarzwand aufgrund eines Stromstoßes oder thermischer Belastung versagt, fangen die Reflektoren die Trümmer auf. Anstatt dass Glassplitter auf die Wafern fallen, bleibt der Schmutz an Ort und Stelle. Dadurch wird eine potenzielle Katastrophe in einen kontrollierbaren Fehler verwandelt.
Kühlung und längere Lebensdauer
Wir verwenden Oberflächen aus hochreinem Aluminium oder mit Goldbeschichtung. Warum? Weil diese Materialien äußerst effektiv bei der Reflexion von Infrarotstrahlung sind. Der Vorteil: Die Lampe kann mit niedrigerer Leistung betrieben werden, ohne dass die Temperatur auf den Wafern sinkt. Da die Lampe weniger belastet wird, müssen die Glühröhren seltener ausgetauscht werden. Wir achten auch sehr darauf, dass die Lampe richtig montiert wird. Wenn die Glühröhre auch nur ein wenig nach unten hängt, entstehen Hotspots – und Hotspots führen letztendlich zum Ausfall der Lampe. Wir stellen sicher, dass die Wärme gleichmäßig verteilt wird.
Die Kompromisse
Es gibt allerdings auch Nachteile. Der Einsatz eines Schutzschirms oder tieferer Reflektoren benötigt mehr Platz im Heizsystem. Zudem entstehen dadurch kleine Bereiche mit stiller Luft um die Lampenenden herum. Wenn es keine geeigneten Kühlventilatoren gibt, bleibt die Wärme dort liegen. Irgendwann oxidieren die Verbindungen und versagen. Um das zu vermeiden, empfehlen wir immer einen Luftstrom zur Kühlung. Dadurch bleiben die Lampenende kühl und das gesamte System funktioniert reibungslos.