Při použití technologie OLED lithografie neexistuje žádný prostor na termální odchylky. I malá odchylka o ±0,5 °C může způsobit nesrovnalosti v rovnoměrnosti povrchu fotorezistu, stejně jako problémy s jeho strukturou během procesu leštění. Potřebujete tedy lampu na sušení, která zůstane stabilní – nikoli takovou, která se mění v závislosti na podmínkách okolí.
Co jsme vyrobili a proč Lampu na sušení OLED umístili jsme do halogenových zdrojů krátkovlnného infračerveného záření uvnitř kvartového obalu. To umožňuje rychlý a přímý přenos energie do fotorezistu s minimálním ohřevem podkladové desky. Rozložení topných elementů je takové, aby teplota v oblasti sušení zůstala v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše čipu. Opakovatelnost výsledků je pak 0,05 °C mezi jednotlivými cykly.
Systém je určen pro čisté prostory třídy 1–100. Pomocí monitorování na místě jsme potvrdili, že nedochází k žádné tvorbě částic. Řízení probíhá v uzavřené smyčce – pomocí kalibrovaného pyrometru a kompenzace emisivity se měří teplota na povrchu fotorezistu, nikoli u samotné lampy.
Proč funguje v továrnách na výrobu OLED V procesech sušení fotorezistu v továrnách na výrobu OLED je termální rozsah velmi úzký. Pokud je teplota příliš nízká, rozpouštědla se neodpaří. Pokud je teplota příliš vysoká, dochází k uvolňování plynů, což způsobuje vady, které se přenášejí do samotného procesu vytváření vzorů. Tato lampa zajistí přesnou teplotu během každého cyklu, takže rovnoměrnost povrchu fotorezistu a úhel stěn zůstávají stabilní.
Rychlé zvyšování teploty zkracuje dobu sušení, což zvyšuje kapacitu výroby bez zvyšování maximální teploty. Systém je efektivní díky vysokému převodu elektřiny na záření a nízké tepelné hmotnosti – to znamená nižší náklady na energii a méně odpadního tepla v čistém prostoru. Spolehlivost systému je zaručena i při nepřetržitém provozu – údaje z praxe ukazují tisíce hodin stabilního provozu.
Na co je potřeba si dát pozor Lampa je kompaktní, ale potřebuje speciální odvod odpadních plynů a čistý elektrický napájecí proud pro udržení stabilních výkonových parametrů. Pokud integrujete tento systém do stávajících zařízení, budete muset pracovat s adaptérem pro mechanické a řídicí rozhraní. Před spuštěním systému ověřte konektory, montážní obaly a protokoly komunikace s PLC.
Proveďte krátkou sérii testů, abyste upravili profil sušení podle vašich požadavků – poté ho ustáleně nastavte.