Senzor teploty pro nástroj na desky
Udržování čistoty: Realita ohřevu polovodičových desek
V světě polovodičů je každý mikroskopický úlomek špíny katastrofou. Pokud provozujete čistou...
Rovnoměrné zahřívání pro 300mm wafer IR
V oblasti 300 mm můžete pocítit, když se profil výroby začíná odchýlovat od požadovaných hodnot. Šířka pruhů se mění a po vyvolávání lze pozorovat...