
别再担心生产过程中的污染问题了
在100级洁净室中,任何一点错误都可能导致灾难性后果。哪怕是一小片灰尘,或者来自廉价加热元件的微量有害气体,都可能毁掉你的硅晶圆。这真是个可怕的情景。
因此,我们改用了高纯度的合成石英红外灯。
为什么石英灯如此有效?
我们使用的的是经过严格处理的熔融硅材料,几乎不含任何杂质。因为当温度非常高时,普通材料就会开始分解,从而释放出金属离子或挥发性有机化合物,这些物质会污染生产环境。而石英则不会产生这样的问题。此外,石英灯还能承受频繁的功率切换带来的压力,而不会破裂。你可以自由调节温度,而不必担心灯管会损坏。
速度与“热量问题”
这类灯具有很高的功率密度,也就是说,它们能将大量能量集中在短波范围内,从而使热量更快地传递到被加热的物体上。这样一来,干燥过程就能大大缩短。
不过,这么高的功率也会产生大量热量。如果你以最大功率运行这些灯,就必须确保其散热系统能够胜任这项任务。否则,设备框架可能会变形。请务必注意这一点。
如何将它们安装到现有系统中
我们尽量让这些灯的尺寸尽可能小,避免使用笨重的部件。同时,我们也摒弃了那些容易造成污染的粘合剂和助焊剂。取而代之的是精密加工而成的连接装置,这样既能确保连接的稳固性,又能保持空气的清洁度。
如果你已经有了现有的干燥模块,那么这些灯可以直接替换上去。我们花了大量时间来优化石英灯管与导线的连接方式,这样即使灯管受到损伤,也不会有卤素气体泄漏到洁净室中。
这是一种简单的方法,有助于提高生产效率,同时减少停机时间。