在OLED制造过程中，OLED光刻技术几乎无法容忍任何温度波动。如果烘烤过程中的温度偏差达到±0.5°C，就会导致光刻胶的均匀性下降，同时还会影响蚀刻效果。因此，需要一种能够保持恒定温度的干燥灯，而不是那种会随时间而变化的灯具。
我们采用了什么解决方案，以及为什么这样设计 我们将OLED干燥灯置于石英外壳内的短波红外卤素光源中。这样一来，能量可以快速、直接地传递到光刻胶上，同时减少对基底的热影响。加热器的布置方式确保了整个晶圆上的温度偏差保持在±0.1°C以内，而各次烘烤之间的重复性则可保持在0.05°C左右。
该系统适用于1级到100级的洁净室环境，通过实时监测，我们确认该系统不会产生任何颗粒物。系统采用闭环控制方式，通过经过校准的温度计和发射率补偿功能来准确测定光刻胶表面的温度，而非灯具外壳处的温度。
为什么这种设计适合OLED生产 在OLED的干燥和光刻胶烘烤过程中，温度控制非常重要。温度过低的话，溶剂无法完全挥发；而温度过高则会导致气体释放，进而产生缺陷，这些缺陷会影响到最终的图案质量。这款灯具能够精确控制每次烘烤时的温度，从而确保整个批次的光刻胶均匀性以及侧壁角度的稳定性。
快速的升温过程可以缩短烘烤时间，从而提高生产效率，同时避免温度过高带来的问题。从设计上看，这种灯具具有很高的电能转换效率，且热质量较低，因此能降低能耗，减少废热对洁净室的影响。其可靠性极高，经过数千小时的运行测试后仍能保持稳定性能。
需要考虑的因素 虽然这款灯具体积很小，但它需要专用的排风系统以及稳定的电源供应，才能保持其性能。如果将其集成到现有的生产线上，还需要考虑机械接口和控制系统方面的问题。在投入使用之前，务必确认连接器、安装方式以及PLC接口是否正常。
建议先进行一番调试，以确定最适合当前光刻胶类型的烘烤参数，然后再固定下来。