Trên sàn sản xuất, chênh lệch vài độ có thể quyết định tấm wafer được chấp nhận hay bị loại thải. Một điểm nóng trong quá trình soft bake hoặc hard bake có thể làm đường in không đồng nhất. Tấm wafer ra khỏi trạm đã vượt quá giới hạn nhiệt cho phép.
Chúng tôi phát triển Wafer Heater 2026 bán chạy nhất để loại bỏ sự biến động đó.
Những yếu tố quan trọng bên trong
Hệ thống sử dụng đèn halogen tia hồng ngoại sóng ngắn (SWIR) bên trong buồng gia nhiệt được tăng cường bằng thạch anh, điều chỉnh để đạt độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Độ lặp lại giữa các chu trình giữ ở ±0,2°C, đảm bảo các profile gia nhiệt quan trọng—soft bake, hard bake và post-apply bake—luôn nằm trong thông số kỹ thuật.
Thiết bị tương thích với phòng sạch Class 1–100, được chế tạo từ vật liệu ít phát thải và có luồng khí kiểm soát hạt nhằm ngăn chặn sự tăng mức độ hạt nền. Việc không tạo hạt ở điểm gia nhiệt không phải khẩu hiệu quảng cáo; đây là giới hạn thiết kế và được xác nhận qua đo lường tại chỗ.
Hệ thống được thiết kế cho vận hành liên tục 24/7 với MTBF được xác nhận thực địa và các module có thể bảo trì, giúp giảm thiểu thời gian gián đoạn không kế hoạch.
Lý do ứng dụng trong quá trình lithography và xử lý photoresist
Nhiệt độ là yếu tố quyết định việc kiểm soát chiều rộng mẫu CD, độ dốc profile và mật độ khuyết tật. Khi bộ gia nhiệt duy trì profile bake ổn định hơn, sẽ giảm số lần làm lại, giảm phế phẩm và đảm bảo chu trình kiểm tra đạt đúng thời hạn.
Tiêu thụ năng lượng hiệu quả hơn nhờ tốc độ tăng nhiệt lên điểm đặt nhanh và tổn hao thấp khi ở chế độ chờ. Chi phí vận hành giảm mà không ảnh hưởng đến công suất sản xuất. Kết quả là đường nét ổn định hơn, ít khuyết tật hơn và đạt được sản lượng đáng tin cậy.
Chi tiết thực tiễn
Bạn cần nguồn cấp riêng 230 V và kiểm tra chất lượng dung dịch làm mát để duy trì nhiệt độ bộ phát ổn định trong các chu kỳ dài. Kích thước thiết bị nhỏ gọn, nhưng việc tích hợp vẫn cần lên kế hoạch kỹ lưỡng. Xác nhận tương thích PLC của thiết bị, căn chỉnh cổng kết nối và định hướng đường thoát khí trước khi lắp đặt.
Sau khi căn chỉnh, thiết bị hoạt động như một giai đoạn nhiệt set-and-forget, giúp kiểm soát quá trình một cách chính xác.