Trên sàn sản xuất, buồng MOCVD Aixtron không cho bạn bất kỳ sự lỏng lẻo nào. Khi phần tử gia nhiệt bắt đầu lệch, bạn sẽ nhận ra ngay lập tức: sự không đồng nhất về nhiệt độ trên bề mặt gia nhiệt, độ lặp lại giữa các lần chạy giảm sút, và các hồ sơ epi đi lang thang cho đến khi bạn phải loại bỏ các tấm wafer. Thời gian ngừng hoạt động không được đo bằng phút - mà được đo bằng giờ. Chúng tôi đã chế tạo phần tử gia nhiệt Aixtron thay thế để đưa kiểm soát nhiệt trở lại nơi nó thuộc về, với sự tự tin tương đương như ban đầu, vì thời gian hoạt động và năng suất không chờ đợi.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi kết hợp kiến trúc nhiệt Aixtron - hình học gia nhiệt quartz-halogen hoặc NIR - được thiết kế với công suất và điện áp chính xác, và được kết thúc với giao diện kết nối được chỉ định. Lợi ích là sự đồng nhất về nhiệt độ ở cấp độ wafer trong khoảng ±0.1°C trong trạng thái ổn định, tốc độ gia nhiệt nhanh mà không bị quá mức, và các điểm thiết lập giữ ổn định qua các chuỗi lắng đọng dài. Các vật liệu và cấu trúc được chọn cho sử dụng trong phòng sạch loại 1–100, với việc không phát sinh hạt và độ thoát khí thấp, do đó số lượng hạt vẫn nằm trong giới hạn kiểm soát quy trình.
Tại sao nó bền bỉ trong sản xuất
Phần thay thế này được thiết kế cho ngân sách nhiệt MOCVD: gia nhiệt có thể dự đoán, thời gian duy trì ổn định, và làm mát có thể lặp lại. Điều này có nghĩa là độ dày epi nhất quán, ít phế phẩm và ít lô đủ điều kiện hơn. Nó cũng giảm thiểu năng lượng lãng phí - việc kết nối nhiệt chặt chẽ và kiểm soát tổn thất giữ cho hiệu suất buồng cao. Hình thức, sự phù hợp và chức năng đã được chứng minh trong thực địa, vì vậy chu kỳ thay thế nhanh chóng và công cụ trở lại sản xuất với sự gián đoạn tối thiểu.
Đây là những điều cần lưu ý
Việc lắp đặt phải tuân theo các khoảng cách và thông số mô-men xoắn của OEM. Nếu việc lắp đặt sai, bạn có thể làm lệch sự đồng nhất hoặc thậm chí làm hỏng bề mặt gia nhiệt. Sau khi thay thế, xác nhận việc hiệu chuẩn buồng và xác minh các hồ sơ nhiệt độ tại nhiều điểm thiết lập. Phần tử này được thiết kế như một thay thế tương đương, nhưng luôn đảm bảo phù hợp với cấp độ sửa đổi thiết bị và thông số quy trình của bạn. Chạy nó, đo nó, và giữ cho dây chuyền sản xuất hoạt động.