Trên sàn sản xuất, độ trôi 0.1°C ở bộ gia nhiệt AFM không chỉ là vấn đề đo lường đơn thuần. Nó có thể làm sai lệch quá trình soft bake và hard bake của photoresist, đồng thời làm mất cân bằng toàn bộ ngân sách nhiệt của bạn. Khi tính đồng nhất nhiệt bị lệch, kiểm soát chiều rộng đường mạch và mật độ khuyết tật cũng bị ảnh hưởng. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt AFM này để giữ nhiệt độ ở mức mà vật lý yêu cầu—ngay trên mẫu, trên toàn bộ vùng quét, và trong các phòng sạch Class 1–100.
Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật Bộ gia nhiệt kết hợp phần tử hồng ngoại sóng ngắn với đường dẫn nhiệt được ổn định bằng thạch anh. Điều này mang lại khả năng gia nhiệt ổn định, tập trung với độ đồng nhất ±0.1°C ngay tại bề mặt wafer. Thiết kế không phát sinh hạt trong quá trình tăng nhiệt và ổn định, do đó số lượng hạt vẫn duy trì ổn định trong công đoạn liên quan đến lithography. Kích thước bề mặt được điều chỉnh phù hợp với tích hợp AFM, hướng tới độ tin cậy 24/7, và cố định các điểm đặt nhiệt có thể lặp lại, chịu được hàng nghìn chu trình nhiệt mà không bị trôi nhiệt độ. Công suất cung cấp được điều chỉnh phù hợp với kích thước dụng cụ, và giao diện được thiết kế để thay thế nhanh chóng—không làm gián đoạn quá trình sản xuất.
Lý do hoạt động hiệu quả trong đo lường liên quan lithography Nếu bộ gia nhiệt AFM không tái tạo đúng mô hình nung mà photoresist mong đợi, tính đồng nhất chiều rộng đường (CD) sẽ bị ảnh hưởng. Ở đây, mô hình nhiệt được tái tạo với độ nhất quán lặp lại, giúp ý định soft bake và hard bake chuyển hóa thành hành vi resist dự đoán được. Giảm thiểu việc làm lại. Giảm phế phẩm. Thời gian chu trình duy trì ổn định. Hiệu suất NIR sóng ngắn và liên kết nhiệt chặt chẽ giúp kiểm soát năng lượng sử dụng, nhờ đó thiết bị hoạt động mát hơn mà không đánh đổi độ chính xác nhiệt độ.
Một vài lưu ý thực tế Bộ gia nhiệt tương thích với phòng sạch, tuy nhiên hiệu suất nhiệt phụ thuộc vào stage AFM và chồng mẫu. Cần khoảng thời gian khởi động ngắn để đạt độ ổn định điểm đặt, và đảm bảo vật liệu stage cùng phương pháp gắn phù hợp với giao diện nhiệt. Lên kế hoạch lắp đặt đủ tiêu chuẩn để đảm bảo tuân thủ phòng sạch và đạt được tiêu chuẩn đồng nhất ngay từ ngày đầu sử dụng.