فیبرک فلور پر، ویفروں کو خشک کرنے یا فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران حرارتی تغیرات نہ صرف پروڈکشن کی رفتار کو متاثر کرتے ہیں، بلکہ یہ عمل ویفروں کی اہم خصوصیات کو بھی متأثر کرتا ہے۔ گلووباکس کے اندر، جہاں فضا بہت کمزور ہوتی ہے، روایتی ہیٹرز استعمال کرکے یکسانیت برقرار رکھنے کی کوشش کی جاتی ہے، تاکہ کوئی ذرے پیدا نہ ہوں۔ ہم نے اپنے انفراریڈ ہیٹرز کو بالکل اسی مقصد کے لئے ڈیزائن کیا ہے۔
جو چیزیں اہم ہیں: ہم کوارٹز سے بنے انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں؛ اس طرح حرارت تیزی سے، ایک خاص سمت میں پہنچتی ہے، اور ایمیشن ریٹ مستحکم رہتا ہے۔ اس طرح ویفروں کے درجہ حرارت میں ±0.1°C کی حد میں یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور ردِعمل بھی اتنا تیز ہوتا ہے کہ اعلیٰ پیداواری رفتار کے عملوں کے ساتھ ہم آہنگ رہ سکے۔ آؤٹ پٹ بھی قابل تکرار ہوتا ہے، اس طرح ہر بیچ میں پروسیس ٹھیک رہتا ہے۔ یہ ایمیٹرز کلاس 1-100 کے کلین رومز میں استعمال ہوتے ہیں، جہاں گیسوں کا اخراج کم ہوتا ہے، اور ڈیزائن ایسا ہے کہ عام آپریشن کے دوران کوئی ذرے پیدا نہ ہوں۔
عملی استعمال میں اس کی اہمیت: ویفروں کو خشک کرنے کے لئے، انفراریڈ توانائی سولوینٹس کو تیزی سے اور یکساں طور پر ختم کرتی ہے، جس سے سطحی نقائص کم ہوجاتے ہیں۔ لیتھوگرافی میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے عمل میں یکسانیت کی وجہ سے CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوجاتی ہے۔ پیکیجنگ میں، ٹھیک سے گرم کرنے کی وجہ سے چپس کی چپکنے کی صلاحیت اور قابل اعتمادی برقرار رہتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ہیٹرز حسب ضرورت ہی حرارت فراہم کرتے ہیں – کم حرارتی ماس، کم ضائع ہونے والی حرارت۔ قابل اعتمادی کی وجہ سے یہ ہیٹرز 24/7 کام کر سکتے ہیں، اور ان کی دیکھ بھال کے وقفے بھی مستقل رہتے ہیں۔
نصب کرنے کے لئے ضروری اقدامات: نصب کرنے کے لئے گلووباکس کا انٹرفیس، پاور ڈینسٹی، اور حرارتی فاصلے اہم ہیں۔ ایمیٹر کو ریفلیکٹر کی شکل کے مطابق رکھنا ضروری ہے، اور کنٹرولر کے فیڈبیک لوپ کو بھی درست رکھنا ضروری ہے – ورنہ ہاٹ اسپاٹس پیدا ہو جاتے ہیں۔ وولٹیج، سائز، اور کنیکٹر کی قسم کو بھی آپ کے آلات کے مطابق منتخب کرنا ضروری ہے۔ اگر الائنمنٹ اور کیلیبریشن درست ہو تو سسٹم بہتر طریقے سے کام کرتا ہے؛ ورنہ حرارتی یکسانیت اور قابل تکراریت ختم ہو جاتی ہے۔