فیبرک فلور پر، چند ڈگریوں کا فرق بھی مصنوعات کے اہم خصوصیات کو متاثر کر سکتا ہے، جس سے پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے۔ روایتی ہٹ پلیٹس، حرارتی تغیرات کو کم کرنے میں مدد کرتی ہیں، لیکن پھر بھی کچھ عدم یقینیت باقی رہ جاتی ہے۔ ہم نے IC پروسیسنگ کے لئے ایک کمپیکٹ انفراریڈ ڈرائر تیار کیا ہے، تاکہ اس عدم یقینیت کو دور کیا جا سکے۔
انفراریڈ حرارت: ذیل-ملی میٹر سطح پر یکسانیت اور دہرائی کی صلاحیت
یہ ڈیوائس، نیئر-انفراریڈ (NIR) ایمیٹرز پر مبنی ہے؛ اس کی وجہ سے توانائی تیزی سے اندر داخل ہوتی ہے، اور حرارتی سطح کو کنٹرول میں رکھا جاتا ہے۔ اس طرح ویفر پر ذیل-ملی میٹر سطح پر یکسانیت حاصل ہوتی ہے، اور بیکنگ کے دوران درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے۔
ہم اس کام کو ویفر کی سطح پر موجود کلوزڈ-لوپ پائرومیٹری کے ذریعے انجام دیتے ہیں، اور ریفلیکٹو کیویٹی کی مدد سے غیرضروری حرارت کو روکا جاتا ہے۔ اس طرح، پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت میں بہت کم تغیرات ہوتے ہیں، جس سے مصنوعات کے اہم خصوصیات محفوظ رہتے ہیں۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
لیتھوگرافی میں، یہ ڈیوائس “سافٹ بیکنگ” اور “ہارڈ بیکنگ” دونوں قسم کے عملوں کو ایک ہی طریقے سے کنٹرول کرتی ہے؛ اس سے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور مصنوعات کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، یہ ڈیوائس نمی کو دور کرتی ہے، بغیر کم-کے فلموں کو زیادہ گرم کیے۔
یہ ڈیوائس کلاس 1–100 کے کلین روموں میں بھی استعمال کی جا سکتی ہے، اور اس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جس کی تصدیق ان-سیٹو مانیٹرنگ سے کی جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ NIR توانائی صرف ہدف کو گرم کرتی ہے، نہ کہ پورے کمرے کو۔ یہ ڈیوائس 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کی گئی ہے؛ اس کے ایمیٹرز کی عمر 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے، اور اس کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے۔
عملی نکات:
اس ڈیوائس کو استعمال کرنے کے لئے، خصوصی 24 VDC کا پاور سرکٹ، کلاس 2 کی سطح کا پاور سسٹم، اور کمپن سے محفوظ بینچ ضروری ہے، تاکہ بیم کی سمت مستحکم رہ سکے۔ یہ ڈرائر 150 ملی میٹر اور 200 ملی میٹر ویفروں کے لئے بہترین ہے؛ 300 ملی میٹر ویفروں کے لئے خصوصی چک اور کیلیبریشن روٹین ضروری ہے۔
اپنی مخصوص فلموں کے لئے پہلے چند ٹیسٹ کریں، پھر اس ڈیوائس کی ترتیبات کو محفوظ کر لیں۔