فیبرک فلور پر، پوسٹ سی ایم پی ویفر، جو سلری سے نکلتا ہے، اس پر اب بھی مائکرو-ڈروپلز موجود ہوتے ہیں؛ دراصل یہ ویفر تیار ہونے کے قریب ہی ہے۔ پانی کے نشانات، دوبارہ تہ جمنا، اور پیٹرن کا ٹوٹنا جیسی مشکلات بعد میں سامنے آتی ہیں… یعنی جب لیتھوگرافی اور ایچنگ کا عمل شروع ہوتا ہے۔ ڈرائنگ ہیٹر صرف ایک “اختیاری” آلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ وہ آخری حرارتی آلہ ہے جو ویفر کے سی ایم پی سیل سے باہر نکلنے سے پہلے استعمال ہوتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نے پوسٹ سی ایم پی ویفر کو خشک کرنے والے ہیٹر کو کوارٹز-ہیلوجن شارٹ-ویو ایمیٹر کے ذریعے تیار کیا ہے۔ یہ ایمیٹر تیزی سے اور براہِ راست توانائی فراہم کرتا ہے، اور اس کی پیداوار مستحکم رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے؛ یہ پیمائش پروڈکشن-ایکویولنٹ کیریئر پر کی جاتی ہے۔ اس طرح، پہلے ڈائی سے لے کر آخری ڈائی تک حرارتی مستحکم رہتی ہے۔
ہیٹر کا ڈھانچہ کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے؛ اس کی سطحیں ایسی ہیں کہ جب حرارتی تبدیلیاں ہوتی ہیں تو کوئی ذرات خارج نہیں ہوتے۔ ذرات کی پیداوار کو کم کرنے کے لئے کم گیس خارج ہونے والا ڈیزائن استعمال کیا گیا ہے، اور گرم علاقے کو ایسے ہوا کے بہاؤ سے الگ کیا گیا ہے جس سے آلودگی ویفر پر واپس نہ آئے۔ اس طرح، ویفر مکمل طور پر خشک رہتا ہے، اور اس پر کوئی باقیات نہیں رہتیں۔
پوسٹ سی ایم پی عمل میں اس ہیٹر کی کیا اہمیت ہے؟
پوسٹ سی ایم پی عمل میں، اہم بات یہ ہے کہ فلم کو بغیر کسی نقصان کے خشک کیا جائے۔ درست درجہ حرارت کنٹرول سے فوٹوریزسٹ اور نیچے موجود ڈائی الیکٹریک طبقات کی کارکردگی برقرار رہتی ہے، یہاں تک کہ سی ایم پی کے میکانی اور کیمیائی عملوں کے بعد بھی۔
اس طرح، چونکہ ہیٹر جلدی ہی درست درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، لہذا عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور فضلہ ویفرز کی تعداد بھی کم ہو جاتی ہے۔ اعلیٰ کارکردگی والا ایمیٹر اور حرارتی ڈیزائن سے توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔ عملی طور پر، اس ہیٹر کی قابل اعتمادی اس بات پر منحصر ہے کہ یہ 24/7 کام کرتا رہے، باقاعدہ دیکھ بھال کے ساتھ، نہ کہ اچانک بند ہونے کے ساتھ۔
آپ کو کن چیزوں کی منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
یہ ہیٹر معیاری سی ایم پی اور کلیننگ پلیٹ فارمس میں استعمال ہوتا ہے، لیکن ایمیٹر اور گیس خارج ہونے والے راستے کے ارد گرد کی جگہ بہت کم ہے۔ لہذا، میکانی ڈھانچے اور گیس خارج ہونے والے راستوں کو پہلے ہی تیار کر لینا ضروری ہے، اور یقین کریں کہ بجلی اور کنٹرول انٹرفیس آپ کے آلے کے مطابق ہیں۔
ہیٹر کی عمر، کلین روم کی صفائی پر منحصر ہے۔ زیادہ مقدار میں سولوینٹ بخارات اور ذرات سے ہیٹر کی عمر کم ہو جاتی ہے، اور حرارتی یکسانیت بھی خراب ہو جاتی ہے۔ اس ہیٹر کو عملیہ کے حصے کے طور پر ہی استعمال کریں، نہ کہ کسی الگ چیز کے طور پر… تاکہ ویفر ہمیشہ خشک، صاف رہے، اور اگلے مرحلے کے لئے تیار رہے۔