먼지로 인해 센서의 성능이 저하되는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실에서 작업하는 경우라면, 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 방울만으로도 전체 센서가 사용 불가능해집니다. 정말 답답한 상황이죠.
이 문제의 원인은 대개 가열 요소에 있습니다. 일반적인 램프들은 가열되거나 식을 때 소량의 물질을 방출합니다. 이는 센서의 성능을 저하시키는 원인이 됩니다.
우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 재료가 중요한가?
대부분의 산업용 램프는 저품질의 유리를 사용합니다. 작동 온도에 도달하면 연기나 조각들이 발생합니다. 깨끗한 표면을 유지하려는 데 있어서는 좋지 않은 현상입니다.
우리가 사용하는 램프는 융합된 규산 석영으로 만들어졌습니다. 순도가 매우 높아서 유해한 휘발성 유기화합물이나 금속 이온이 전혀 배출되지 않습니다. 오직 깨끗한 열만이 방출됩니다. 물리적 접촉도 없고, 먼지가 발생할 가능성도 없습니다.
속도가 가장 중요합니다
우리는 고강도의 단파열을 내도록 이 램프를 설계했습니다. 왜냐하면 기판이 목표 온도에 빨리 도달할수록 주변의 오염 물질들이 표면에 남을 시간이 줄어들기 때문입니다.
정말 빠릅니다. 그리고 이로 인해 오염 위험도가 줄어듭니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 이 램프들은 매우 강력한 에너지를 발산하기 때문에 매우 뜨거워집니다. 만약 좁은 공간에 이 램프들을 설치한다면, 반드시 적절한 냉각 시스템을 갖추어야 합니다. 그렇지 않으면 하우징이 과열되어 밀폐성이 떨어지고, 그로 인해 문제가 생길 수 있습니다.
자동화된 생산 라인에 적용하기
우리는 이 램프들을 자동화된 생산 라인에 바로 사용할 수 있도록 설계했습니다. 또한 밀폐성도 우수하여 할로겐 가스가 청정 구역으로 유출될 걱정도 없습니다.
결국, 이는 간단한 교환 작업일 뿐입니다. 조금 더 비싼 고순도 석영을 사용함으로써, 값비싼 웨이퍼들을 버리는 일을 피할 수 있습니다.