ほこりがバイオセンサーの性能を低下させるのを防ぎましょう。
クラス100の清浄室で作業しているなら、その悩みはよくわかるでしょう。目に見えないほど微細なほこりが1つあるだけで、作ったセンサー全てが無駄になってしまいます。本当に腹立たしいですよね。
実際の原因は、多くの場合、ヒーター部分にあります。一般的なランプは、加熱や冷却の際にガスを放出したり、微細な粒子を飛ばしたりします。これが、センサーの性能を低下させる原因となります。
私たちは、高純度の合成石英製の赤外線ランプに切り替えることで、この問題を解決しました。
なぜ素材が重要なのか
一般的な産業用ランプは、品質の低いガラスを使用しています。動作温度に達すると、煙や粒子が発生します。表面をきれいに保ちたい場合、これは望ましくありません。
私たちの製品は、融合シリカ石英から作られています。その純度が非常に高いため、有害な揮発性有機化合物や金属イオンが発生しません。純粋な熱エネルギーのみが得られます。物理的な接触もなく、ほこりが舞い上がることもありません。必要なエネルギーのみが得られるのです。
スピードこそが最良の味方
これらのランプは、高強度の短波長の光を出力できるように設計されています。なぜかというと、基材が目標温度に到達するのが早ければ、周囲の汚染物質が表面に付着する時間も短くなるからです。
とても速いです。そして、それによって汚染リスクも変わってきます。
ただし、注意が必要です。これらのランプは、小さな空間に多くのエネルギーを閉じ込めているため、非常に高温になります。もし、狭いスペースに設置する場合は、十分な冷却装置が必要です。ケースが過熱すると、シール部が早期に損傷し、それは誰もが避けたい問題です。
自動化ラインでの利用
私たちは、これらのランプを自動化ラインに簡単に取り付けられるように設計しました。また、シール部分も真空密閉型になっているため、ハロゲンガスが清浄区域に漏れ出る心配もありません。
結局のところ、これは単純なトレードオフです。少し高価な石英を使う代わりに、高価なウェーハを廃棄する手間を省くことができます。