हमने अपनी आईआर क्यूरिंग प्रक्रिया में ओजोन का उपयोग क्यों बंद कर दिया?
सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों में “स्वच्छता” केवल एक लक्ष्य ही नहीं है – यह तो सब कुछ है। यदि वहाँ थोड़ा सा भी रासायनिक अवशेष रह जाए, तो समस्या हो जाती है। इसीलिए हमने ओजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया।
अधिकांश पारंपरिक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड सिस्टमों में अनजाने में ही ओजोन उत्पन्न हो जाता है। यह बहुत ही खतरनाक है। ओजोन को रोककर हम न केवल उद्योग मानकों का पालन कर रहे हैं, बल्कि हार्डवेयर की रक्षा भी कर रहे हैं।
विज्ञान – बिना जटिल विवरणों के
सामान्य इन्फ्रारेड लैंप 185nm से 254nm की आवृत्ति पर विकिरण उत्सर्जित करते हैं। यह ऊर्जा हवा में मौजूद ऑक्सीजन से टकरकर ओजोन उत्पन्न करती है।
क्लीनरूमों में ओजोन बहुत ही खतरनाक है – यह संवेदनशील धातुओं को नष्ट कर देता है, एवं कार्बनिक पॉलिमरों को भी नष्ट कर देता है। इसे रोकने हेतु हम क्वार्ट्ज ट्यूबों में विशेष कोटिंगों एवं डोपेंट्स का उपयोग करते हैं। ये कोटिंगें वीयूवी विकिरण को रोकने में मदद करती हैं।
इस तरह आपको आवश्यक ऊष्मा तो मिलती ही है, लेकिन कोई भी विषाक्त गैस नहीं उत्पन्न होती।
हवा को गर्म करना बंद करें!
एक बड़े कन्वेक्शन ओवन के बारे में सोचें – आप बहुत सारा पैसा एवं बिजली खर्च करके हवा को गर्म कर रहे हैं… यह बेकार है।
इन्फ्रारेड लैंप अलग हैं – ये सीधे सब्सट्रेट पर ही ऊष्मा उत्सर्जित करते हैं। इससे ऊर्जा की बचत होती है… क्योंकि हम पूरे कमरे को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद नहीं कर रहे हैं।
आप केवल सब्सट्रेट को ही गर्म कर रहे हैं, न कि पूरे वातावरण को।
इस परिवर्तन के बारे में सच्चाई
मैं यह नहीं कहूँगा कि यह कोई जादुई समाधान है… कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है।
चूँकि हम ओजोन उत्पन्न करने वाली आवृत्तियों को रोक रहे हैं, इसलिए स्पेक्ट्रल वितरण में थोड़ा बदलाव हो जाता है। आप बस स्विच दबाकर चले नहीं सकते… आपको अपने कन्वेयर सिस्टम की गति या लैंप की ऊँचाई को समायोजित करना होगा।
और यदि आप उच्च-गति वाली लाइनों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको अपने PID कंट्रोलरों को इन लैंपों की विशेष प्रतिक्रिया-समय-सीमाओं के अनुसार समायोजित करना होगा।
अच्छी बात यह है कि हमने ऐसे लैंप बनाए हैं जिन्हें आसानी से उपयोग में लाया जा सकता है… आप अपनी मौजूदा व्यवस्था को ही बनाए रख सकते हैं… लेकिन अब आपको संदूषण की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है।