अपने वेफरों का इंतज़ार बंद करें: आईआर क्यों बेहतर है?
यदि आपने सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में कुछ समय बिताया है, तो आपको पता ही होगा कि धोने की प्रक्रिया में ही सब कुछ धीमा हो जाता है। यही तो सबसे बड़ी समस्या है।
मैं अभी भी कई कारखानों में गर्म हवा का उपयोग वेफरों को सुखाने हेतु करते हुए देखता हूँ। निश्चित रूप से, यह तरीका काम तो करता है… लेकिन इसमें बहुत समय लगता है। यदि आप वॉटरप्रूफ आईआर लैंपों का उपयोग करें, तो आप वास्तव में प्रक्रिया के नियम ही बदल देते हैं।
समय की बात करें…
गर्म हवा का उपयोग तो कन्वेक्शन के माध्यम से ही होता है… आप हवा को गर्म करते हैं, उसे वेफर की सतह पर फैलाते हैं… और फिर इंतज़ार करते हैं… क्योंकि नमी के वाष्पीकरण में बहुत समय लगता है।
लेकिन आईआर में ऐसा नहीं होता… यहाँ तो विकिरण ऊर्जा का ही उपयोग होता है… गर्मी सीधे ही वेफर की सतह पर पहुँच जाती है… यहाँ तो सेकंड ही लगते हैं, मिनट नहीं… जब सुखाने में लगने वाला समय कम हो जाता है, तो आपको अपनी फर्श पर जगह भी ज्यादा मिल जाती है… क्योंकि सुखाने हेतु लंबी लाइनों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती।
“गीलेपन” की समस्या का समाधान…
यहीं पर समस्या है… धोने की प्रक्रिया में तो वातावरण गीला ही रहता है… यदि आप सामान्य आईआर लैंपों का उपयोग करें, तो पानी की बूँदें गर्म क्वार्ट्ज पर गिरते ही वे खराब हो जाएँगे… यह तो बड़ी समस्या है।
इसीलिए हम वॉटरप्रूफ लैंपों का ही उपयोग करते हैं… ऐसे लैंप उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में भी काम कर सकते हैं… और उनके फिलामेंट भी नष्ट नहीं होते।
इसके अलावा, ये लैंप तुरंत ही प्रतिक्रिया देते हैं… गर्म हवा वाले ओवनों में गर्म होने/ठंडा होने में बहुत समय लगता है… लेकिन आईआर में ऐसा नहीं होता… आपको बस एक अच्छा कंट्रोल सिस्टम ही चाहिए।
समस्याएँ…
लेकिन यह तो पूरी तरह से जादुई तरीका नहीं है… उच्च-तीव्रता वाले आईआर लैंपों से बहुत अधिक गर्मी उत्पन्न होती है… यह तो गति हेतु अच्छा है… लेकिन वेफर के लिए यह बहुत ही अधिक है…
यदि आप अधिक वॉटेज का उपयोग करें, या लैंपों को बहुत नजदीक रखें, तो वेफर विकृत हो जाएगा… ऐसा होना संभव है… आपको वेफर की मोटाई के अनुसार ही ऊँचाई एवं वॉटेज को सही रखना होगा।
गर्म हवा से आईआर में बदलना, सिर्फ एक उपकरण बदलने जैसा ही नहीं है… यह तो पूरी प्रक्रिया के बारे में ही सोचने का नया तरीका है… आप वेफरों को तेज़ी से ही प्रक्रिया से गुजार सकते हैं… बस आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि ठंडा करने हेतु आवश्यक सिस्टम भी उस गति के अनुरूप ही हो।