फैब फ्लोर पर, स्लरी से निकलने वाला “पोस्ट-CMP वेफर” अभी भी अपनी सतह पर माइक्रो-ड्रॉपलेट्स लिए हुए होता है। ऐसे वेफरों को तुरंत ही सुखाना आवश्यक है। पानी के निशान, पुनः निक्षेपण, एवं पैटर्नों में बदलाव जैसी समस्याएँ तब ही सामने आती हैं, जब वेफर को लिथोग्राफी/एटचिंग प्रक्रिया में डाला जाता है। ड्रायिंग हीटर केवल एक “अतिरिक्त उपकरण” नहीं है; बल्कि यह वह अंतिम उपकरण है जिसके द्वारा ही वेफर CMP सेल से बाहर जाता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने पोस्ट-CMP वेफर ड्रायिंग हीटर को क्वार्ट्ज-हैलोजन शॉर्ट-वेव एमिटर के आधार पर बनाया है। यह ऊर्जा को तेज़ एवं सीधे ही प्रदान करता है, एवं इसका आउटपुट स्थिर रहता है। वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक बनी रहती है; ऐसा उत्पादन-स्तरीय उपकरणों के द्वारा ही संभव है। इससे वेफरों में कोई असमानता नहीं रहती।
हीटर की संरचना
हीटर की संरचना क्लीनरूम-अनुकूल है; इसकी सतहों से कोई कण नहीं निकलते। कम गैस उत्सर्जन वाली डिज़ाइन एवं गर्म क्षेत्र को हवा से अलग रखने की व्यवस्था से कणों का निर्माण कम हो जाता है। इससे वेफरों पर कोई अवशेष नहीं रहता।
वास्तविक परिस्थितियों में इसकी उपयोगिता
पोस्ट-CMP ड्रायिंग में महत्वपूर्ण बात यह है कि फिल्मों का वाष्पीकरण निरंतर हो, लेकिन फिल्में नष्ट न हों। सटीक तापमान नियंत्रण से फोटोरेसिस्ट एवं अन्य डायएलेक्ट्रिक सामग्रियाँ निर्धारित मानकों के अनुरूप ही रहती हैं। इससे प्रक्रिया तेज़ हो जाती है, एवं अपशिष्ट वेफरों की संख्या कम हो जाती है। उच्च-दक्षता वाले एमिटर एवं ऐसी डिज़ाइन वाले हीटर से ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। व्यावहारिक रूप से, विश्वसनीयता का अर्थ है 24/7 कार्य करना – न कि अचानक ही बंद हो जाना।
क्या योजना बनानी आवश्यक है?
यह हीटर मानक CMP एवं सफाई प्लेटफॉर्मों में ही इस्तेमाल किया जा सकता है; लेकिन एमिटर एवं वायु-निकास मार्ग के आसपास की जगह सीमित है। इसलिए, मेकानिकल घटकों एवं गैस-निकास संबंधी कनेक्शनों को पहले ही व्यवस्थित कर लेना आवश्यक है। बिजली एवं नियंत्रण संबंधी इंटरफेस भी उपकरणों के अनुरूप ही होने चाहिए।
ऑपरेटिंग लाइफ
हीटर की ऑपरेटिंग लाइफ क्लीनरूम की स्थिति पर निर्भर है। अत्यधिक वाष्प एवं कणों की उपस्थिति से हीटर की उम्र कम हो जाती है। हीटर को प्रक्रिया-चैंबर का ही हिस्सा मानकर ही इसका उपयोग करना चाहिए… तभी ही वेफर सूखे, स्वच्छ एवं अगले चरण के लिए तैयार रहेंगे।