300 मिमी आकार की सतहों पर, जब बेकिंग प्रक्रिया में कोई विचलन होने लगता है, तो इसका असर महसूस होता है। वायरों की चौड़ाई में भी बदलाव हो जाता है, एवं डेवलपमेंट के बाद सतह पर अवांछित पदार्थ भी दिखने लगते हैं। जब हॉट ज़ोन, सेटपॉइंट का विरोध करने लगता है, तो फोटोरेजिस्ट की मात्रा कम हो जाती है, एवं उत्पादन में भी कमी आ जाती है। हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु इन्फ्रारेड सिस्टम विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर ऐरे, वेफर की सतह पर ऊष्मा को समान रखने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं; 300 मिमी आकार की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। तेज़ रिस्पॉन्स के कारण ऊष्मा संबंधी देरी नहीं होती, इसलिए तापमान निर्धारित मानों के अनुसार ही रहता है। हॉट ज़ोन, क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है, एवं स्थिर अवस्था में इससे कोई कण भी नहीं उत्पन्न होते। इससे 24/7 विश्वसनीयता प्राप्त होती है, एवं हर बार उत्पादन की गुणवत्ता समान ही रहती है।
लिथोग्राफी में इसका महत्व:
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया, विलायकों को हटाने एवं फिल्म पर लगने वाले तनाव को नियंत्रित करने हेतु उपयोग में आती है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया, छवि को स्थिर करने एवं फोटोरेजिस्ट को एटच/इम्प्लांट प्रक्रिया हेतु तैयार करने हेतु उपयोग में आती है। समान इन्फ्रारेड ऊष्मा के कारण, वेफर की सतह पर ग्लास-ट्रांज़िशन व्यवहार समान ही रहता है। इससे रीवर्किंग की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है।
ऊर्जा उपयोग में कमी:
यह सिस्टम केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करता है, इसलिए ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
व्यावहारिक दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हॉट ज़ोन छोटा होता है, इसलिए इसे ट्रैक/कोट/बेक मॉड्यूल में ही एकीकृत किया जा सकता है। वेफर के चारों ओर की जगह सीमित होती है, इसलिए वायु प्रवाह की व्यवस्था भी उसी तरह ही की जानी चाहिए जैसी पहले से ही मौजूद है।
कमिशनिंग प्रक्रिया:
कमिशनिंग प्रक्रिया बहुत ही सरल है – लैंप की शक्ति, एमिसिविटी एवं PID सेटिंग्स को समायोजित करना ही पर्याप्त है। एक बार सेटिंग्स सही हो जाने के बाद, प्रक्रिया लगातार ही चलती रहती है। लेकिन यदि फोटोरेजिस्ट की रासायनिक संरचना में बदलाव किया जाए, या मोटी फिल्मों का उपयोग किया जाए, तो समानता एवं प्रदर्शन बनाए रखने हेतु पुनः समायोजन आवश्यक हो जाता है।