वेफरों के गुणांकन के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तन, आपके उत्पादन मॉडलों को नष्ट कर सकते हैं, एवं प्रसंस्करण प्रक्रिया की सीमाओं को सीमित कर सकते हैं। आधा डिग्री का परिवर्तन भी उपकरणों की सीमाओं को छिपा सकता है; ऐसी स्थिति में बार-बार प्रसंस्करण करने से फोटोरेजिस्ट नष्ट हो जाता है, एवं समय भी बर्बाद हो जाता है। आपको ऐसा हीटर चाहिए, जो तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित कर सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह हीटर, मापन क्षेत्र में वेफरों के तापमान को ±0.1°C के भीतर बनाए रखता है; जबकि बार-बार प्रसंस्करण के दौरान तापमान में होने वाला परिवर्तन ±0.05°C से कम ही रहता है। इसकी थर्मल डिज़ाइन ऐसी है कि ऊर्जा की खपत कम रहती है, एवं तापमान स्थिर रहता है। यह क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; एवं इसकी सामग्रियों एवं असेंबली के कारण परिचालन के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता। परीक्षणों में, यह 24/7 चलता रहा, एवं लिथोग्राफी संबंधी प्रक्रियाओं में भी तापमान स्थिर ही रहा।
व्यावहारिक लाभ:
इसके उपयोग से आपको ऐसा प्रक्रिया-नियंत्रण मिलता है, जिसे आप दस्तावेज़ीकृत भी कर सकते हैं। फोटोरेजिस्ट का तापमान निर्धारित मानों पर ही रहता है; एवं वेफरों की मोटाई एवं चौड़ाई संबंधी मापन भी सटीक रहते हैं। चूँकि इस हीटर की थर्मल इनर्शिया कम है, इसलिए प्रसंस्करण का समय कम हो जाता है, एवं प्रति यूनिट ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। यह मानक उपकरणों के साथ भी उपयोग में आ सकता है; इसलिए आपको स्टेशन की सेटिंग्स फिर से तैयार करने की आवश्यकता नहीं है। इसके परिणामस्वरूप, पुनरावृत्तियाँ कम हो जाती हैं, उत्पादों का वितरण बेहतर हो जाता है, एवं उत्पादन डेटा भी स्थिर रहता है।
उपयोग से पहले कुछ व्यावहारिक सुझाव:
इस हीटर को इंस्टॉल करने हेतु विशेष एवं फिल्टर्ड विद्युत आपूर्ति आवश्यक है; साथ ही उचित ग्राउंडिंग भी आवश्यक है, ताकि संवेदनशील प्रोब कार्डों पर कोई ईएमआई प्रभाव न पड़े। यह हीटर जल्दी ही निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है; इसलिए आपको अपने PID ट्यूनिंग को चक एवं वेफर के द्रव्यमान के अनुसार ही सेट करना होगा। यह हीटर अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है; लेकिन पहली बार उपयोग करने से पहले आपको अपने प्लेटफॉर्म के अनुसार इसके आयामों एवं कनेक्टरों की जाँच अवश्य करनी होगी।