वेफरों को सुखाने या फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में होने वाला तापीय परिवर्तन, केवल उत्पादन दर पर ही प्रभाव नहीं डालता; बल्कि इससे वेफरों के महत्वपूर्ण आयाम भी प्रभावित होते हैं, जिससे उत्पादन में कमी आती है। ग्लोवबॉक्स में, जहाँ वातावरण अत्यधिक नियंत्रित होता है, पारंपरिक हीटरों का उपयोग करके तापमान को संतुलित रखना कठिन होता है… क्योंकि ऐसे हीटरों से कण उत्पन्न हो जाते हैं। हमने ठीक इसी स्थिति को ध्यान में रखकर ही अपने इन्फ्रारेड हीटरों को डिज़ाइन किया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज से बने इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं… ताकि ऊष्मा तेज़ी से, एवं निर्दिष्ट दिशा में ही पहुँचे… और ऊष्मा-उत्सर्जन दर स्थिर रहे। इससे प्रक्रिया के दौरान वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं प्रतिक्रिया भी इतनी तेज़ होती है कि उच्च उत्पादन दर के लिए आवश्यक है। आउटपुट भी विश्वसनीय होता है… इसलिए हर बार एक ही तरह के परिणाम प्राप्त होते हैं। ये उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आते हैं… जहाँ गैसों का उत्सर्जन कम होता है… एवं सामान्य संचालन के दौरान कोई कण भी उत्पन्न नहीं होते।
व्यवहार में इसका लाभ क्या है?
वेफरों को सुखाने हेतु, इन्फ्रारेड ऊर्जा विलायकों को तेज़ी से एवं समान रूप से नष्ट कर देती है… जिससे सतही दोष कम हो जाते हैं। लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करने से सीडी मानों पर नियंत्रण बना रहता है… एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है। पैकेजिंग में, ऊष्मा-उपचार की प्रक्रिया में भी इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करने से चिपकने की क्षमता एवं विश्वसनीयता बनी रहती है। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि हीटर आवश्यकता के अनुसार ही ऊष्मा प्रदान करते हैं… इससे अतिरिक्त ऊष्मा भी नहीं उत्पन्न होती। विश्वसनीयता तो लंबे समय तक संचालन में ही देखने को मिलती है… हमारे उपकरण 24/7 काम करते हैं… एवं रखरखाव के लिए भी नियमित अंतराल ही पर्याप्त है।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
इन्स्टॉलेशन हेतु ग्लोवबॉक्स का इंटरफ़ेस, ऊर्जा-घनत्व, एवं तापीय सीमाओं पर ध्यान देना आवश्यक है। एमिटर को रिफ्लेक्टर की ज्यामिति के अनुसार ही लगाना चाहिए… एवं कंट्रोलर के फीडबैक लूप को भी ठीक से सेट करना आवश्यक है… वरना हॉट स्पॉट एवं अतिरिक्त ऊष्मा की समस्याएँ हो सकती हैं। वोल्टेज, आयाम, एवं कनेक्टर प्रकार भी उपकरण के आकार के अनुसार ही होना चाहिए। सही तरीके से एलाइनमेंट एवं कैलिब्रेशन करने से ही सिस्टम सही तरीके से काम करेगा… वरना तापीय समानता एवं विश्वसनीयता में कमी आ जाएगी।