फैब फ्लोर पर, थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन आपके उत्पादों के महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है, जिससे उत्पादन दर में कमी आ सकती है। पारंपरिक हीटिंग सिस्टम ऐसी समस्याओं से निपटने में असमर्थ हैं; इसलिए ऐसी अनिश्चितताएँ उत्पादन प्रक्रिया में दिखाई देती हैं। हमने IC प्रसंस्करण हेतु एक कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर विकसित किया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके।
इन्फ्रारेड हीटिंग: सब-मिलीमीटर स्तर पर समानता एवं पुनरावृत्ति
यह उपकरण नियर-इन्फ्रारेड (NIR) एमिटरों पर आधारित है; इन एमिटरों को फोटोरेजिस्ट के अवशोषण के अनुरूप सेट किया गया है। इससे ऊर्जा तेजी से अंदर जाती है, एवं तापमान नियंत्रित रहता है। वेफर पर सब-मिलीमीटर स्तर पर समानता बनी रहती है, एवं बेकिंग के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है।
हम वेफर पर ही बंद-लूप पायरोमेट्री का उपयोग करते हैं; इसके अलावा, परावर्तक कैविटी के कारण अतिरिक्त ऊष्मा बाहर नहीं जाती। इससे उत्पादन प्रक्रिया में पुनरावृत्ति सटीक रहती है।
यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, यह उपकरण “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों प्रक्रियाओं को एक ही तरह से संभालता है; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, यह उपकरण नमी को हटाता है, बिना किसी नुकसान के।
यह उपकरण क्लास 1–100 क्लीनरूम में आसानी से काम कर सकता है; इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। ऊर्जा-उपयोग भी कम होता है, क्योंकि NIR ऊर्जा केवल लक्ष्य वस्तु को ही गर्म करती है, कमरे को नहीं। यह उपकरण 24/7 ऑपरेशन हेतु डिज़ाइन किया गया है; इसके एमिटरों की आयु 5,000 घंटों से अधिक है, एवं इसका आउटपुट स्थिर रहता है।
उपयोग हेतु आवश्यक बातें
इस उपकरण को स्थापित करने हेतु 24 VDC वाला क्लास 2 पावर सर्किट आवश्यक है; साथ ही, बीम को सही रूप से संरेखित रखने हेतु एक स्वच्छ, कंपन-रहित बेंच भी आवश्यक है। यह उपकरण 150 मिमी एवं 200 मिमी वेफरों हेतु अनुकूलित है; 300 मिमी वेफरों हेतु विशेष चक एवं कैलिब्रेशन प्रक्रियाएँ आवश्यक हैं।
पहले अपने विशिष्ट फिल्म स्टैकों का विश्लेषण करें, फिर ही इस उपकरण का उपयोग करें।