מחמם מיקרוסקופ כוח אטומי (AFM)

בקו הייצור, סטייה של 0.1°C במחמם ה-AFM אינה רק נזק למדידה. היא עלולה להשפיע על אפיית רך וקשה של הפוטורזיסט, ולפגוע באיזון התקציב התרמי הכולל. כאשר...