בתהליך החיבור של שבבים מסוג “פליפ צ’יפ”, החיבור נהרס ברגע שיש שינוי בתנאי הטמפרטורה. נוצרים אז נקודות קרות באזור החיבור, ואחריהן נוצרים חללים בתוך החומר שמשמש לחיבור. כתוצאה מכך, יעילות התהליך יורדת, יש צורך בעבודות תיקון רבות, ולוח הזמנים מתעכב. פיתחנו מנורה מיוחדת לחימום בתהליך זה, כדי להפחית את רמת אי-הוודאות בתהליך.
מה חשוב באמת? המערכת משתמשת במודולי תאורה באור אינפרא-אדום קרוב, עם אופטיקה מקוורטז, כדי להעביר חום מהיר וממוקד לאזור החיבור. בכל אזור החיבור, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של התהליך היא ±0.5°C. זמן התגובה של המערכת הוא פחות מ-100 מילי-שניות, כך שניתן לשמור על טמפרטורה קבועה ללא סטיות. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והמשטחים מעובדים בצורה שמונעת יצירת חלקיקים ופליטת גזים.
חוסר בחלקיקים אינו רק סלוגן – זו דרישה טכנית שנובעת מבחירת החומרים, האטימה של המערכת ושליטה בזרימת האוויר.
למה זה עובד בפועל? בתהליך החיבור של שבבים מסוג “פליפ צ’יפ”, יש צורך בחום בדיוק במקום הרצוי, בדיוק בזמן הרצוי, וששום דבר אחר לא יחמם את האזור. אור האינפרא-אדום מחמם רק את החלקים הרלוונטיים, ושומר על המבנים הסמוכים קרים. זה מפחית את הסיכון לעיוותים ומונע בעיות עם החומרים הדיאלקטריים.
האחידות הגבוהה והחזריות של התהליך מאפשרים חימום אחיד של החומרים, יצירה צפויה של מבנים בין-מתכתיים, ופחות תקלות. המנורה גם משמשת לעיבוד חומרי פוטורזיסט – עיבוד רך ועיבוד קשה – כאשר הדיוק בטמפרטורה שומר על הממדים הקריטיים יציבים. התוצאה: פחות סטיות, יעילות גבוהה יותר בפעם הראשונה, ויכולת עבודה יציבה.
על מה צריך לשים לב? המנורה יכולה להירכב בקלות במכשירי החיבור הרגילים, אך יש צורך בדיוק גבוה בהתאמתה. יש להקדיש כ-12 שעות להגדרת המנורה – מיפוי הקרן, כיול הטמפרטורה ובדיקת חדר הניקיון.
ההספק של המנורה ניתן להתאמה, אך היציבות הטובה ביותר מושגת כאשר המנורה פועלת בין 40–80% מההספק המקסימלי שלה. אם המנורה פועלת כל הזמן בהספק המקסימלי, חיי המנורה יקוצרו. יש לתכנן את החלפתה בזמן הנכון, ולהחזיק חלקים חלופיים של קוורטז, כדי שהביצועים של המנורה לא ייפגעו.