בחדר הייצור, תהליך חימום הפוטורזיסט אינו רק “הפסקה” בתהליך – זהו שלב בקרה שאי אפשר לעקוף אותו. שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לסטייה במידות החשובות של הוופר, ולהגדיל את רמת החוסר אחידות בקצוות הקווים. עיצבנו את נורות החימום שלנו כך שהן ישמרו על הטמפרטורה הנדרשת, ולא על הטמפרטורה שנקבעת על ידי המכשיר עצמו.
מה שחשוב כשהוופרים נמצאים בתהליך חימום, זו האחידות בטמפרטורה. הנורות שלנו שומרות על אחידות טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח החימום, מה שמביא להסרה אחידה של החומרים המסיסים ולהתנהגות אחידה של החומרים בוופר.
הפרופיל של החימום מותאם לצרכי הפוטורזיסט – לגלים קצרים ובינוניים – והתגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן החימום, מבלי לפגוע בשליטה בפרופיל החימום.
התאמה לחדרי ייצור נקיים אינה דבר נוסף – זה חלק מהעיצוב של המערכת: בסביבות מסוג Class 1–100 אין יצירה של חלקיקים כלל, והמערכת פועלת 24/7 ללא הפסקות במתקנים שעברו בדיקות.
התוצאות שניתן למדוד הן דיוק בטמפרטורת החימום, מה שמפחית את הסטיות במידות הוופר ואת הצורך בעבודות תיקון.
צריכת האנרגיה נמוכה יותר בזכות העיצוב של המערכת, והמארות בעלות חיי שירות ארוכים מצמצמות את הצורך בחלקי חילוף ובתחזוקה.
זו אלטרנטיבה מאומתת, שעומדת בתקנים הבינלאומיים לציוד לתעשיית השבבים – אותן ביצועים תרמיים, ללא צורך בהתמקדות בספק מסוים.
הערה חשובה: האחידות התרמית תלויה בגאומטריה של התא ובאופן שבו הוופר נמצא בתוכו. תקבלו את התוצאות הטובות ביותר כאשר הנורה מותאמת לממדי התא, וכאשר תהליך החימום מותאם מחדש לפרופיל החימום החדש.
אנו מספקים נתוני חיבור והערות שימוש כך שהשינוי יהיה מדיד, ולא מבוסס על הנחות בלבד.