Hören Sie auf, die Wände Ihrer Maschine zu erwärmen.
In einem Halbleiter-Reinraum ist es eine Katastrophe, wenn etwas Falsches erhitzt wird. Wenn Sie auf Konvektion oder einfache Strahlheizungen vertrauen, haben Sie wahrscheinlich bereits bemerkt, dass die Wärme überall entweicht. Plötzlich sind die Innenwände der Maschine so heiß, dass sie einen Bediener verbrennen können. Zudem verschieben sich die empfindlichen Komponenten aufgrund der thermischen Ausdehnung. Das ist chaotisch und gefährlich.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direkte Infrarot-Heizungen verwenden. Der Schlüssel liegt darin, wie die Wärme übertragen wird. Stellen Sie sich dazu eine Taschenlampe vor – anstelle eines Raumheizers. Während die Konvektion nur die Luft erwärmt, senden Infrarotlampen Strahlung in gerader Linie aus. Wir richten diese Lampen direkt auf das Wafer oder das Substrat. Das Material nimmt die Energie auf – und das ist’s. Die umgebende Luft bleibt kühl. Der Metallkasten bleibt ebenfalls kühl. So entsteht eine heiße Arbeitszone innerhalb eines sicheren Rahmens.
Hohe Leistung in kleinem Raum.
Um den Platzbedarf der Maschine zu verringern, verwenden wir Kurzwellen-Infrarot-Emitter. Sie liefern enorme Leistung in einem sehr kleinen Format. Es geht dabei sehr schnell – Sie erreichen die gewünschte Temperatur in Sekunden.
Aber es gibt einen Haken: Bei hohen Leistungen werden die Bedingungen intensiv. Wenn die Reflektoren beschädigt oder leicht verschoben sind, entstehen „heiße Punkte“ an den Wänden. Deshalb legen wir großen Wert auf die Qualität unserer goldenen und Aluminium-Reflektoren. Der Strahl muss genau gerichtet sein.
Für alle eine einfachere Lösung.
Wenn Sie keine Energie mehr verschwenden, muss die Lüftungsanlage im Reinraum nicht mehr so hart arbeiten. Wir haben diese Systeme so konzipiert, dass sie als Ersatz für die alten, unpraktischen Heizgeräte dienen können. Verbinden Sie sie einfach mit einem PID-Controller, damit Sie die gewünschten Temperaturen genau kontrollieren können. Keine weiteren „heißen Wände“ mehr. Ihre Mitarbeiter können nun ohne Bedenken in die Nähe der Maschine gehen. Zudem entfallen die lästigen falschen Temperaturalarme. Es funktioniert einfach.