In der Fertigungsstätte führt die thermische Drift während des Trocknens der Wafer oder beim Erhitzen des Photoresists nicht nur zu Verzögerungen im Produktionsprozess. Sie verändert außerdem die kritischen Abmessungen der Wafer und verringert somit die Ausbeute. In einer Schutzhülle – mit einem kontrollierten Luftdruck und geringer Wärmemenge – müssen herkömmliche Heizelemente dafür sorgen, dass die Temperatur gleichmäßig bleibt, ohne dabei Partikel freizusetzen. Unsere Infrarotheizelemente sind genau für diese Anforderungen entwickelt worden.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit Quarzkapseln. Dadurch wird die Wärme schnell und gezielt abgegeben, wodurch die Emissivität konstant bleibt. So kann eine Temperaturgleichmäßigkeit auf Waferebene innerhalb von ±0,1°C gewährleistet werden. Die Reaktionszeit ist außerdem ausreichend schnell, um mit hohen Produktivitätsanforderungen Schritt zu halten. Die Leistung ist außerdem reproduzierbar – dadurch bleiben die Prozessparameter über alle Chargen hinweg konstant. Diese Heizelemente finden Verwendung in Reinräumen der Klasse 1–100. Dabei ist die Teilchenausgabe gering, und das Design sorgt dafür, dass während des normalen Betriebs keine Partikel freigesetzt werden.
Warum das in der Praxis funktioniert
Beim Trocknen der Wafer eliminieren die Infrarotstrahlen die Lösungsmittel schnell und gleichmäßig – dadurch werden Oberflächenfehler reduziert. In der Lithografie führt die Reproduzierbarkeit des Heizvorgangs zu besserer Kontrolle der Abmessungen der Wafer und weniger Nacharbeiten. Bei der Verpackung ermöglichen die vorhersehbaren Temperaturprofile eine bessere Haftung und Zuverlässigkeit. Der Energieverbrauch sinkt, da die Heizelemente nur dann Wärme abgeben, wenn sie benötigt wird – dadurch entsteht keine unnötige Wärmeentwicklung. Die Zuverlässigkeit zeigt sich in langen Betriebszeiten: Unsere Geräte können 24/7 betrieben werden, mit stabiler Leistung und vorhersehbaren Wartungsfenstern.
Praktische Hinweise
Die Installation hängt von der Schnittstelle zur Schutzhülle, der Leistungsdichte sowie den thermischen Abständen ab. Passt die Geometrie des Strahlers zur Geometrie des Reflektors an – sonst entstehen Hotspots und Temperaturspitzen. Stimmen Sie Spannung, Abmessungen und Steckertyp auf Ihre Ausrüstung ab. Wenn die Ausrichtung und Kalibrierung richtig erfolgen, funktioniert das System einwandfrei. Andernfalls geht die Temperaturgleichmäßigkeit sowie die Reproduzierbarkeit verloren.