Trên dây chuyền sản xuất kích thước 300mm, bạn có thể nhận biết được khi quy trình nung bắt đầu mất kiểm soát. Độ rộng của các đường viền trên bề mặt wafer sẽ thay đổi, và sau khi xử lý, bạn sẽ thấy xuất hiện các vết bẩn trên bề mặt wafer. Khi khu vực gia nhiệt không hoạt động đúng như mong muốn, lượng chất cần thiết để xử lý wafer sẽ bị lãng phí, điều này ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống tia hồng ngoại để ngăn chặn tình trạng này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn được điều chỉnh sao cho đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số khoảng ±0,1°C trong suốt quá trình nung. Khả năng phản ứng nhanh giúp giảm độ trễ về mặt nhiệt độ, giúp nhiệt độ duy trì ở mức ổn định. Khu vực gia nhiệt phù hợp với môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100, và không tạo ra bất kỳ hạt nào trong quá trình hoạt động. Hệ thống này mang lại độ tin cậy cao, không gây ra gián đoạn trong quá trình sản xuất, đồng thời đảm bảo tính nhất quán trong các lô sản phẩm.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn: Trong quy trình in ấn, bước nung mềm giúp loại bỏ dung môi và kiểm soát áp lực lên lớp phim cảm quang; bước nung cứng giúp cố định hình ảnh và chuẩn bị lớp phim cảm quang để tiến hành quy trình khắc hoặc cấy ghép. Với nhiệt độ đồng đều từ tia hồng ngoại, tính chất chuyển pha của lớp phim sẽ giữ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer. Các chi tiết trên bề mặt wafer cũng sẽ được kiểm soát tốt, giúp đảm bảo độ chính xác của các kích thước quan trọng. Điều này giúp giảm số lượng sản phẩm phải làm lại, giảm lượng phế liệu, và giảm mức tiêu thụ năng lượng.
Những điểm thực tế cần lưu ý: Khu vực gia nhiệt có kích thước nhỏ, vì vậy nó cần được tích hợp vào hệ thống xử lý wafer. Khoảng cách xung quanh wafer cần được kiểm soát chặt chẽ, và luồng khí cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với hệ thống thông gió hiện có.
Việc cài đặt hệ thống diễn ra nhanh chóng – bạn chỉ cần điều chỉnh công suất của đèn, độ phát xạ ánh sáng và các thông số PID cho lớp phim cảm quang. Một khi đã được cài đặt xong, quy trình sẽ được lặp lại. Tuy nhiên, nếu bạn thay đổi loại chất cảm quang hoặc sử dụng lớp phim dày hơn, bạn sẽ cần điều chỉnh lại các thông số để duy trì mức độ đồng đều và hiệu suất như ban đầu.